[实用新型]并联双管路抽气系统

说明书

本实用新型公开了并联双管路抽气系统，包括真空室和主管路，主管路与真空室连接，在主管路上设置并联支路，主管路上安装有蜗轮阀，并联支路上安装挡板阀，主管路再连接串联管道，主管路与串联管道之间安装罗茨泵，串联管道末端连接旋片泵。真空室连接主管路，主要通过主管路抽气，主管路上并联一个支路，通过挡板阀微调抽气速率，这样优化了抽气系统，降低了抽气速率，节省了工作气体，容易控制工作气体参数；真空室在原有左右两侧加热的基础上，另外增加三组加热，能够多方位均匀加热，加热速度快。

技术领域

本实用新型涉及一种抽气系统，具体涉及一种并联双管路抽气系统。

背景技术

已知公开的专利号：201710753414.5，一种基于等离子体技术的缸套内表面多元非金属层制备方法，该方法以真空室为基础条件实施的，其操作步骤如下：首先将清洁的缸套套装到真空室内的接地台配置的电极上，电极与缸套同轴套合，关闭真空室抽真空，引入氮气或氩气，待真空室气压升至设定值时，温控系统控制加热器升温，再引入包括含硅、硼或碳元素等工作气体，在真空条件下电源及控制系统进入辉光放电处理程序，放电处理结束电源及控制系统便断开电源，停止供气，待降温后打开真空室取出缸套。

原来抽真空系统利用一个很粗的管道，设置单个蜗轮阀，由于阀门很大，抽的很快，抽气速率高，浪费了工作气体，也不易控制工作气体参数。

此外真空室内放置有待加热的工件，常见的加热方式是：真空室内左右两侧炉壁加热，待加热的工件处于真空室的中心，热源难以传播到工件的所有面，使得真空室内加热温度不均匀、加热速度慢。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种容易控制工作气体参数的并联双管路抽气系统。

本实用新型提供如下技术方案：

并联双管路抽气系统，包括真空室和主管路，所述主管路与真空室连接，在主管路上设置并联支路，所述主管路上安装有蜗轮阀，所述并联支路上安装挡板阀，所述主管路再连接串联管道，所述主管路与串联管道之间安装罗茨泵，所述串联管道末端连接旋片泵。

进一步的，所述旋片泵通过电机带动工作，所述旋片泵上开有排气口。

进一步的，所述真空室内左右两侧分别设置有左侧加热器和右侧加热器，真空室内固定有上托盘和下托盘，上托盘的底部设置有上加热管，下托盘的底部设置有下加热管，真空室的顶部居中位置设置有顶部加热管，真空室内侧壁靠近上托盘和下托盘两侧设置有侧导轨，上托盘和下托盘的底部安装有车轮，车轮在侧导轨上滑动。

进一步的，所述真空室的形状为矩形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：真空室连接主管路，主要通过主管路抽气，主管路上并联一个支路，通过挡板阀微调抽气速率，这样优化了抽气系统，降低了抽气速率，节省了工作气体，容易控制工作气体参数；真空室在原有左右两侧加热的基础上，另外增加三组加热，能够多方位均匀加热，加热速度快。

附图说明

图1为本实用新型抽气系统的示意图。

图2为本实用新型真空室的结构示意图。

图中：1、真空室；2、主管路；3、并联支路；4、蜗轮阀；5、挡板阀；6、串联管道；7、罗茨泵；8、旋片泵；9、电机；10、排气口；11、左侧加热器；12、右侧加热器；13、上托盘；14、下托盘；15、上加热管；16、下加热管；17、顶部加热管；18、侧导轨；19、车轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。