[实用新型]一种防掉落吸取治具

说明书

本实用新型提供了一种防掉落吸取治具，包括治具板、设于治具板中的气路、分布于所述治具板底面边缘处的多个吸嘴以及与所述气路通过气管相连的真空源，其特征在于：所述气路包括相互独立的第一气路与第二气路，所述真空源包括分别与所述第一气路与第二气路通过气管相连的两个真空发生器，每两个相邻的所述吸嘴分别交替与所述第一气路和所述第二气路相连通。通过使用这样的结构，在通过吸嘴吸起产品时，即使其中一个气路因为产品翘曲导致真空失效，通过另一个气路控制的吸嘴依旧能够在产品四周均匀的施加吸力，保证产品不会掉落。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种防掉落吸取治具。

背景技术

在半导体制造或者是其他高精尖的自动化行业中，通常会遇到附加值较高的产品的搬运，对于此类产品的搬运，一般都具有较高的要求，例如吸取位置的限定(受限于特殊功能区禁止受到物理接触)以及安全性(保证搬送过程中的防掉落安全措施)等。

基于这两个大前提的限制下，需要在最大限度内，以及在较高可实现性的方式中，对其搬送方式进行优化。

目前已有的方案中，通常采用的是直接以单气路通过真空吸着的方式进行吸取搬运。通过真空发生器连接管路，以橡胶吸嘴作为接触媒介，进行产品的吸取并转移，实现自动化搬运的过程。

在半上述常用的真空方式是目前大主流的搬运方式，但是依旧存在如下的使用缺陷：

缺点一：安全系数不高，产品的高价值特性，使得厂商对产品的安全要求极为苛刻，需要考虑到各种事件，即便概率很低也需要能尽可能杜绝，常见原因包括由于产品翘曲而导致的产品吸着失败。不同工艺会有不同情况的发生，在该项对应的产品所遇到的大多数情况是由于一个角的翘曲过大而导致整体真空失效，甚至可能发生在运输过程中的掉板现象。

缺点二：无法应对突发状况，在实际生产过程中，也有可能因为动力源供给的原因导致的真空不足，常见情况便是气压不足或者操作不当，导致突发气路切断的情况。

缺点三；兼容性不够，为了对应产品的多元性，吸取治具也需要进行多元化处理，通常的形式是通过更变吸嘴位置来对应于不同尺寸型号的产品，但是对应于频繁更变产品种类的部分工艺工位来说，频繁更变吸嘴位置是极其繁琐的。

实用新型内容

基于此，本实用新型提供了一种防掉落吸取治具，能够避免产品因真空失效而掉落，具有更好的安全系数。

本实用新型通过如下方式解决该技术问题：一种防掉落吸取治具，包括治具板、设于治具板中的气路、分布于所述治具板底面边缘处的多个吸嘴以及与所述气路通过气管相连的真空源，其特征在于：所述气路包括相互独立的第一气路与第二气路，所述真空源包括分别与所述第一气路与第二气路通过气管相连的两个真空发生器，每两个相邻的所述吸嘴分别交替与所述第一气路和所述第二气路相连通。

通过使用这样的结构，在通过吸嘴吸起产品时，即使其中一个气路因为产品翘曲导致真空失效，通过另一个气路控制的吸嘴依旧能够在产品四周均匀的施加吸力，保证产品不会掉落。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述治具板包括通过螺栓紧固在一起的上板与下板。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一气路包括设于所述上板下表面上的第一闭环凹槽，所述第二气路包括设于所述上板下表面上的第二闭环凹槽，所述第一闭环凹槽与第二闭环凹槽均为沿着上板边缘布置的矩状。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第二闭环凹槽位于所述第一闭环凹槽里侧，所述第二闭环凹槽的四条边处具有朝所述上板中心方向缩进的规避段，由此在所述第一闭环凹槽与所述第二闭环凹槽之间形成了四个规避区域，所述第一闭环凹槽与第二闭环凹槽分别具有朝规避区域方向延伸的导气凹槽，该导气凹槽与位于上板上表面处的气管接孔相连通，所述气管通过气管接头接入所述气管接孔。由此实现气管与第一气路和第二气路的连通。