[实用新型]一种载具的取放装置

说明书

本实用新型提供了载具的取放装置，包括辊带、设于所述辊带一侧的升降导轨、设于所述升降导轨上的升降平台与设于所述升降平台上的取放机构，所述辊带包括多个间隔分布在两侧侧板间的辊子，侧板对应所述辊子间间隙的位置处具有从侧板上表面向下延伸的缺口，所述取放机构包括设于所述升降平台上并朝所述侧板方向延伸的导轨，设于所述导轨上的取放支架以及驱动所述取放支架沿所述导轨滑动的驱动装置，所述取放支架包括至少两条向所述侧板方向延伸的取放条，所述取放条能够伸入所述侧板上的缺口中。采用本实用新型的取放机构，能够更为可靠的对载具进行取放。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种载具的取放装置。

背景技术

在半导体的制作过程中，电路板在经过特定工序后，例如刷胶，植球工序后，需要将电路板送入清洗炉进行清洗或送入回流炉进行高温固化。

在进行清洗或回流的过程中，需要将电路板固定在特定的载具中进行输送，载具主要包括一个下载板与一个上盖板，使用时将电路板置于下载板上，上盖板盖在下载板上并以磁吸的方式与下载板固定，从而对电路板进行限位。防止在清洗或回流过程中电路板偏移过大以及一定程度上保护电路板。

但是，这也产生了如下的问题：目前主流的取放装置是以真空吸附的方式进行吸取搬运的。通过真空发生器连接管路，以橡胶吸嘴作为接触媒介，进行载具的吸取和转移，实现自动化搬运的过程。但由于下载板与上盖板是通过磁吸的方式进行固定的，吸嘴将载具吸起时，下载板可能会在自重的作用下克服磁吸力而与上盖板分离，导致电路板掉落。

实用新型内容

基于此，本实用新型提供了一种新型的载具的取放装置，能够更为可靠的取放载具。

本实用新型通过如下方式解决该技术问题:

一种载具的取放装置，包括辊带、设于所述辊带一侧的升降导轨、设于所述升降导轨上的升降平台与设于所述升降平台上的取放机构，所述辊带包括多个间隔分布在两侧侧板间的辊子，侧板对应所述辊子间间隙的位置处具有从侧板上表面向下延伸的缺口，所述取放机构包括设于所述升降平台上并朝所述侧板方向延伸的导轨，设于所述导轨上的取放支架以及驱动所述取放支架沿所述导轨滑动的驱动装置，所述取放支架包括至少两条向所述侧板方向延伸的取放条，所述取放条能够伸入所述侧板上的缺口中。

当需要取出载具时，驱动装置驱动取放条伸入缺口，使取放条对应位于辊子上载具的下方，随后升降导轨带动升降平台升起，取放条随之抬升，辊子上的载具也就顺势落在了取放条上，最后驱动装置驱动取放条缩回，就此实现了载具的取出。

当需要放置载具时，升降导轨带动升降平台升至辊带上方，驱动装置带动装有载具的取放条伸出，随后升降平台下降，取放条随之下降，穿过侧板上的缺口落入辊子下方，取放条上的载具也就顺势落在了辊子上，实现了载具的放置。

本实用新型的取放装置采用从下方托举载具的形式，不会出现载具在自重的作用下克服磁吸力导致下载板与上盖板分离，造成电路板掉落的情况，取放更为可靠。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述取放支架包括基板和设于所所述基板底面上的导向块，所述导向块安装在所述导轨上，两根相互平行的所述取放条安装在所述基板的顶面两侧，所述取放条伸出所述基板面朝辊带一侧的边缘外。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述取放条伸出基板外的一端和所述取放条的中部设有用于放置所述载具的限位块。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述取放条的端部与中部分别布置有两个彼此相邻的限位块，从而在所述两个限位块间形成了一个放置槽。通过放置槽来容纳载具两侧的凸边，实现了载具的稳固放置。