[实用新型]一种溅射镀膜用输送轨道

权利要求书

1.一种溅射镀膜用输送轨道，包括出架口(1)、卸料口(2)、控制柜(3)、输送轨道(4)和机片架(6)，其特征在于：输送轨道(4)的两端分别连接出架口(1)和卸料口(2)，出架口(1)设于上料室的一侧壁处，卸料口(2)设于卸料室的一侧壁处，机片架(6)位于输送轨道(4)上方，输送轨道(4)包括两条相互平行的钢轨(41)和设置在钢轨(41)下方的控制柜(3)，钢轨(41)由数条矩形钢条(411)首尾连接组成，相对的两条钢条(411)的端口均设有支撑杆(45)，靠近真空镀膜机的钢条(411)的外侧壁设有限位条(46)，限位条(46)的长度与钢轨(41)的长度相同且限位条(46)固定在控制柜(3)的上方，远离真空镀膜机的钢条(411)的外侧壁设有数个光电感应器(5)，光电感应器(5)与控制柜(3)中的控制器电性连接，通过光电感应器(5)传递机片架(6)之间的运输信息至控制柜(3)中的控制器，输送轨道(4)内部间隔设有输送齿轮(42)，输送齿轮(42)与机片架(6)的条齿配合运动，从而将机片架(6)从卸料口(2)运输至出架口(1)，到达上料室进行下一次的上料工序。

2.如权利要求1所述的溅射镀膜用输送轨道，其特征在于：两输送齿轮(42)之间的距离小于机片架(6)条齿的长度。

3.如权利要求1所述的溅射镀膜用输送轨道，其特征在于：相邻的光电感应器(5)之间的距离为5.0～5.5m。

4.如权利要求1所述的溅射镀膜用输送轨道，其特征在于：光电传感器通过折弯板(7)固定在钢轨(41)的上方，折弯板(7)的一端固定在钢轨(41)外侧壁的中部，另一端设有一圆形孔，光电传感器的端部固定在圆形孔内。

5.如权利要求1所述的溅射镀膜用输送轨道，其特征在于：每条钢条(411)的两端均设有垫板(44)。

6.如权利要求1所述的溅射镀膜用输送轨道，其特征在于：两条钢轨(41)的距离大于机片架(6)的宽度。

7.如权利要求1所述的溅射镀膜用输送轨道，其特征在于：输送轨道(4) 间隔设置有转动轴(43)，转动轴(43)的两端分别固定在输送轨道(4)的侧壁上且与控制柜(3)平行，输送齿轮(42)套接在转动轴(43)上。

8.如权利要求1所述的溅射镀膜用输送轨道，其特征在于：控制柜(3)的上端设有急停按钮(31)。