[实用新型]一种溅射镀膜用输送轨道

说明书

为了解决镀膜基片镀膜完成后运输到卸料室进行卸料，随后将卸料后的机片架搬运到一高洁净度的上料室内，在上料室内完成镀膜基片的贴片过程，需要耗费大量的人力和时间的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜用输送轨道，通过在卸料口和上料室的出架口安装输送轨道将卸片结束的机片架运输到上料室内进行下一步的上料工序，节省了大量的人力和时间，在输送轨道相同间隔处设置有光电传感器，光电传感器电性连接控制柜中的控制器，当光电传感器感应到前后两个机片架的距离小于5m的时候，控制器停止后面的机片架运行直到两个机片大于5m，从而有效的控制机片架之间的距离，防止相邻的机片架碰撞。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，较为具体的，涉及到一种溅射镀膜用输送轨道。

背景技术

目前，真空磁控溅射镀膜机是对金属、玻璃和塑料表面进行镀膜的专用设备，其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室的进料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，可利用物理气相沉积(以下简称“PVD”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。随着生活水平的提高，人们对于具有更加广泛用途和性能的涂层需求也越来越大。

目前镀膜基片镀膜完成后运输到卸料室进行卸料，随后将卸料后的机片架搬运到一高洁净度的上料室内，在上料室内完成镀膜基片的贴片过程，需要耗费大量的人力和时间。

实用新型内容

有鉴于此，为了解决镀膜基片镀膜完成后运输到卸料室进行卸料，随后将卸料后的机片架搬运到一高洁净度的上料室内，在上料室内完成镀膜基片的贴片过程，需要耗费大量的人力和时间的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜用输送轨道，通过在卸料口和上料室的出架口安装输送轨道将卸片结束的机片架运输到上料室内进行下一步的上料工序，节省了大量的人力和时间，在输送轨道相同间隔处设置有光电传感器，光电传感器电性连接控制柜中的控制器，当光电传感器感应到前后两个机片架的距离小于5m的时候，控制器停止后面的机片架运行直到两个机片大于5m，从而有效的控制机片架之间的距离，防止相邻的机片架碰撞，使得机片架能够有条不紊的进行运输。

一种溅射镀膜用输送轨道，包括出架口1、卸料口2、控制柜3、输送轨道4和机片架6，其特征在于：输送轨道4的两端分别连接出架口1和卸料口2，出架口1设于上料室的一侧壁处，卸料口2设于卸料室的一侧壁处，机片架6位于输送轨道4上方，输送轨道4包括两条相互平行的钢轨41和设置在钢轨41下方的控制柜3，钢轨41由数条矩形钢条411首尾连接组成，相对的两条钢条411的端口均设有支撑杆45，靠近真空镀膜机的钢条411的外侧壁设有限位条46，限位条46的长度与钢轨41的长度相同且限位条46固定在控制柜3的上方，远离真空镀膜机的钢条411的外侧壁设有数个光电感应器5，光电感应器5与控制柜3中的控制器电性连接，通过光电感应器5传递机片架6之间的运输信息至控制柜3中的控制器，从而有效的控制机片架6之间的距离，防止相邻的机片架6碰撞，输送轨道4内部间隔设有输送齿轮42，输送齿轮42与机片架6的条齿配合运动，从而将机片架6从卸料口2运输至出架口1，到达上料室进行下一次的上料工序，节省了大量人力和时间。

进一步的，两运输齿轮42之间的距离小于机片架6条齿的长度，从而达到运输机片架6的效果。

进一步的，相邻的光电感应器5之间的距离为5.0～5.5m。

进一步的，光电传感器通过折弯板7固定在钢轨41的上方，折弯板7的一端固定在钢轨41外侧壁的中部，另一端设有一圆形孔，光电传感器的端部固定在圆形孔内。

进一步的，每条钢条411的两端均设有垫板44，当机片架6运在运输轨道运输过程中起到了很好的防震效果。

进一步的，两条钢轨41的距离大于机片架6的宽度。

进一步的，输送轨道4间隔设置有转动轴43，转动轴43的两端分别固定在输送轨道4的侧壁上且与控制柜3平行，输送齿轮42套接在转动轴43上。