[实用新型]一种金铂扩散舟

权利要求书

1.一种金铂扩散舟，包括舟底板和硅片固定件，所述舟底板的一端设置有挂孔，其特征在于，所述舟底板上设置有多组硅片固定件，所述硅片固定件包括两对顶头和两对分档杆，所述顶头的中心转动设置有螺柱，所述分档杆靠近舟底板的边缘设置，所述舟底板的一端设置有一对与舟底板垂直的舟头板，所述舟底板上设置有与舟底板、舟头板同时垂直连接的护板，所述护板上均匀分布有若干个散气孔，所述舟底板上介于一对舟头板之间设置有挂孔，所述舟底板上介于每对顶头之间设置有底孔，所述舟底板的底部均匀设置有若干个球状凸头。

2.根据权利要求1所述的一种金铂扩散舟，其特征在于，所述分档杆可拆卸设置在舟底板上，所述分档杆的底部设置有矩形的滑块，所述舟底板上设置有供滑块移动的长条形的调节孔，所述滑块与调节孔过渡配合。

3.根据权利要求2所述的一种金铂扩散舟，其特征在于，所述顶头呈圆台状。