[实用新型]一种光刻机的取片装置

权利要求书

1.一种光刻机的取片装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有片盒(3)，所述底座(1)上表面焊接有安装块(2)，所述安装块(2)与片盒(3)侧壁焊接，所述安装块(2)为空心结构，所述安装块(2)内通过轴承转动连接有转动轴(21)，所述转动轴(21)两端均过盈配合有齿轮(22)，所述齿轮(22)啮合有第一齿条(23)，所述第一齿条(23)与安装块(2)顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条(23)位于安装块(2)外部的一端焊接有挡板(24)，所述挡板(24)与安装块(2)上表面之间固定连接有弹簧(25)，所述齿轮(22)啮合有第二齿条(26)，所述第二齿条(26)与所述安装块(2)和片盒(3)侧壁贯穿滑动连接，所述片盒(3)上表面开设有滑动槽(33)，所述滑动槽(33)内滑动连接有第一滑块(32)，所述第一滑块(32)下表面与第二齿条(26)焊接，所述第一滑块(32)上表面共同焊接有盒盖(31)，所述底座(1)上表面设置有取片装置。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有立柱(101)，所述立柱(101)远离底座(1)的一端通过轴承转动连接有转动杆(102)，所述转动杆(102)为L形杆，所述转动杆(102)另一端固定连接有电动推杆(103)，所述电动推杆(103)的输出端设置有夹持装置(5)，所述夹持装置(5)为空心结构，所述夹持装置(5)侧壁焊接有固定板(55)。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述夹持装置(5)侧壁通过支架焊接有微型电机(51)，所述微型电机(51)的输出轴焊接有螺纹杆(52)，所述螺纹杆(52)与夹持装置(5)通过轴承贯穿转动连接，所述螺纹杆(52)位于夹持装置(5)内部的两端设置有旋向相反的螺纹，所述螺纹杆(52)位于夹持装置(5)内部的两端均螺纹连接有第二滑块(53)，所述第二滑块(53)与夹持装置(5)底壁贯穿滑动连接，所述第二滑块(53)远离螺纹杆(52)一侧的侧壁焊接有夹块(54)。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述齿轮(22)的宽度大于所述第一齿条(23)与第二齿条(26)的宽度之和，所述第二齿条(26)的长度大于所述片盒(3)的滑动槽(33)的长度。

5.根据权利要求3所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述片盒(3)与盒盖(31)的滑动连接处设置有密封垫，所述夹块(54)相近一侧的侧壁粘接有橡胶垫。

6.根据权利要求3所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述电动推杆(103)应采用DT-700型号电动推杆，所述微型电机(51)应采用90YYJT40-3型号微型电机，所述底座(1)底壁粘接有防滑垫。