[实用新型]一种光刻机的取片装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括底座，所述底座上表面焊接有片盒，所述底座上表面焊接有安装块，所述安装块与片盒侧壁焊接，所述安装块为空心结构，所述安装块内通过轴承转动连接有转动轴，所述转动轴两端均过盈配合有齿轮，所述齿轮啮合有第一齿条，所述第一齿条与安装块顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条位于安装块外部的一端焊接有挡板，所述挡板与安装块上表面之间固定连接有弹簧，所述齿轮啮合有第二齿条，所述第二齿条与所述安装块和片盒侧壁贯穿滑动连接。本实用新型可以在取片过程中保证片盒内的硅片不被灰尘污染，保障了优质的光刻效果，同时可以对不同厚度的硅片进行夹持，具有更强实用性。

技术领域

本实用新型涉及光刻机辅助装置技术领域，尤其涉及一种光刻机的取片装置。

背景技术

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机的光刻过程中，需要利用取片装置将片盒中的硅片逐片取出，而然后在传递给其他的送片机构，最后将硅片送光刻工位光刻，光刻完成后，又需要通过取片装置将硅片回送至片盒中。

现有技术中，现有的取片装置在取片的过程中，片盒一般都是敞口放置，敞口放置可能会导致硅片表面沾染灰尘，从而导致光刻效果较差，且现有的取片装置不能适用于各种不同厚度硅片的取放。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机的取片装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种光刻机的取片装置，包括底座，所述底座上表面焊接有片盒，所述底座上表面焊接有安装块，所述安装块与片盒侧壁焊接，所述安装块为空心结构，所述安装块内通过轴承转动连接有转动轴，所述转动轴两端均过盈配合有齿轮，所述齿轮啮合有第一齿条，所述第一齿条与安装块顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条位于安装块外部的一端焊接有挡板，所述挡板与安装块上表面之间固定连接有弹簧，所述齿轮啮合有第二齿条，所述第二齿条与所述安装块和片盒侧壁贯穿滑动连接，所述片盒上表面开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有第一滑块，所述第一滑块下表面与第二齿条焊接，所述第一滑块上表面共同焊接有盒盖，所述底座上表面设置有取片装置。

优选地，所述底座上表面焊接有立柱，所述立柱远离底座的一端通过轴承转动连接有转动杆，所述转动杆为L形杆，所述转动杆另一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端设置有夹持装置，所述夹持装置为空心结构，所述夹持装置侧壁焊接有固定板。

优选地，所述夹持装置侧壁通过支架焊接有微型电机，所述微型电机的输出轴焊接有螺纹杆，所述螺纹杆与夹持装置通过轴承贯穿转动连接，所述螺纹杆位于夹持装置内部的两端设置有旋向相反的螺纹，所述螺纹杆位于夹持装置内部的两端均螺纹连接有第二滑块，所述第二滑块与夹持装置底壁贯穿滑动连接，所述第二滑块远离螺纹杆一侧的侧壁焊接有夹块。

优选地，所述齿轮的宽度大于所述第一齿条与第二齿条的宽度之和，所述第二齿条的长度大于所述片盒的滑动槽的长度。

优选地，所述片盒与盒盖的滑动连接处设置有密封垫，所述夹块相近一侧的侧壁粘接有橡胶垫。

优选地，所述电动推杆应采用DT-700型号电动推杆，所述微型电机应采用90YYJT40-3型号微型电机，所述底座底壁粘接有防滑垫。

本实用新型对比现有技术，其优点在于：

1、当夹持装置伸入片盒内取片时，夹持装置带动固定板将第一齿条压下，通过第一齿条与齿轮的啮合带动齿轮转动，从而使得第二齿条滑动，第二齿条通过第一滑块带动盒盖滑动打开，保证夹持装置可以伸入片盒内进行取片，取片完成后，夹持装置升起，在弹簧的作用下盒盖滑动关闭，将片盒密封，防止片盒内的硅片沾染灰尘，从而保证了优质的光刻效果；