[实用新型]一种磷硼扩散石英舟

说明书

本实用新型提出一种磷硼扩散石英舟，包括舟底板，其特征在于，所述舟底板呈回字形，所述舟底板的中间设置有中空结构，所述舟底板的底面均匀设置有若干个球状凸起，所述舟底板的两端对称设置有两个与其垂直的挡板，所述挡板横跨在中空结构上方，所述挡板上设置有若干个散气孔，所述挡板的一侧设置有一对角形的支撑板，所述舟底板、挡板和支撑板均由耐高温材料制成。本实用新型通过采用回字形的舟底板以及球状凸起、散气孔的设计有效改善了扩散舟整体的气体流动效果，有利于提高硅片扩散质量。本实用新型设计合理、结构简单，适合大规模推广。

技术领域

本实用新型属于半导体器件生产设备技术领域，涉及扩散舟，尤其涉及一种磷硼扩散石英舟。

背景技术

半导体器件制作过程需要经过数十道工序，其中掺杂是制作半导体器件的核心工序，它对产品电性和良率起着决定性的作用，掺杂的方式很多，常见的有热扩散和离子注入，对于二极管芯片，通常采用热扩散方式进行掺杂。热扩散是将硅片排在扩散舟上，推入扩散炉管中，通过高温进行的，器件质量除了炉温、时间等因素的影响，还受到扩散舟的设计形状影响，扩散舟的形状主要影响硅片电性的均匀性。

目前扩散舟的设计一般使用板舟，板舟的弊端是舟底部不通气，扩散出来的硅片靠近舟底的部分电性差异较大，最终导致电性均匀性差，良率低。所以合理设计扩散舟的形状非常重要。

实用新型内容

本实用新型针对上述的扩散舟所存在的技术问题，提出一种设计合理、结构简单、气体流动效果好，有利于提高扩散质量的一种磷硼扩散石英舟。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为，本实用新型提供的一种磷硼扩散石英舟，包括舟底板，所述舟底板呈回字形，所述舟底板的中间设置有中空结构，所述舟底板的底面均匀设置有若干个球状凸起，所述舟底板的两端对称设置有两个与其垂直的挡板，所述挡板横跨在中空结构上方，所述挡板上设置有若干个散气孔，所述挡板的一侧设置有一对角形的支撑板，所述舟底板、挡板和支撑板均由耐高温材料制成。

作为优选，所述舟底板的底部设置有环绕中空结构分布的沉槽。

作为优选，所述舟底板、挡板和支撑板均由石英玻璃材料制成。

作为优选，所述舟底板、挡板和支撑板均由碳化硅材料制成。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

1、本实用新型提供的一种磷硼扩散石英舟，通过采用回字形的舟底板以及球状凸起、散气孔的设计有效改善了扩散舟整体的气体流动效果，有利于提高硅片扩散质量。本实用新型设计合理、结构简单，适合大规模推广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例提供的一种磷硼扩散石英舟的主视图；

图2为实施例提供的一种磷硼扩散石英舟的俯视图；

图3为实施例提供的一种磷硼扩散石英舟的侧视图；

以上各图中，1、舟底板；2、球状凸起；3、挡板；4、散气孔；5、支撑板；6、沉槽；7、中空结构。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。为叙述方便，下文如出现“上”、“下”、“左”、“右”字样，仅表示与附图本身的上、下、左、右方向一致，并不对结构起限定作用。