[实用新型]蚀刻预处理装置

权利要求书

1.蚀刻预处理装置，其特征在于，包括：

第一清理单元，用于清理工件表面油污；

第二清理单元，用于清理工件表面氧化层；以及

转运单元，用于将工件从所述第一清理单元转运至所述第二清理单元；

所述第一清理单元包括：

第一传送模块，用于沿第一路径传送工件；

第一护罩，罩设于所述第一传送模块上方；

第一喷淋模块，用于向工件喷淋微蚀剂；

第二喷淋模块，用于向工件喷淋清水；

透明观察窗，设于所述第一护罩侧壁上，且与所述第一护罩活动连接；

第一烘干模块，用于烘干工件；以及

第一液池，设于所述第一传送模块下方，用于收集所述第一喷淋模块和所述第二喷淋模块喷出的液体；

所述第一喷淋模块、所述第二喷淋模块、所述透明观察窗和所述第一烘干模块于所述第一护罩内沿所述第一路径分布。

2.如权利要求1所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一护罩的进口和出口均盖设有柔性帘，所述第一护罩上部设有第一排气口，所述第一排气口处设有第一抽吸过滤组件。

3.如权利要求2所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一抽吸过滤组件包括：

缓冲筒，底端与所述第一排气口连通，所述缓冲筒的内径从下至向逐渐增大；

过滤盒，所述过滤盒设于所述缓冲筒的顶部，所述过滤盒的底部开口与所述缓冲筒连通，所述过滤盒内部填充有过滤填料；以及

抽气泵，连接于所述过滤盒顶部开口处。

4.如权利要求3所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一抽吸过滤组件还包括：

第一分散板，设于所述缓冲筒中部，所述第一分散板上设有第一分散孔，所述第一分散孔为弧形孔；以及

第二分散板，设于所述缓冲筒上部，所述第二分散板上设有第二分散孔，所述第二分散孔为圆孔；

所述第一分散板和所述第二分散板的板面垂直于所述缓冲筒的中轴。

5.如权利要求1所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第二清理单元包括：

第二传送模块，用于沿第二路径传送工件；

第二护罩，罩设于所述第二传送模块上方；

第二液池，设于所述第二传送模块下方，用于容纳用于除去氧化层的药剂，所述第二传送模块用于将工件传送至用于除去氧化层的药剂中浸泡，并将浸泡完成的工件传送出所述第二液池；

第三喷淋模块，用于向工件喷淋清水；

第二烘干模块，用于烘干工件；以及

第三液池，设于所述第二传送模块下方，用于收集第三喷淋模块喷出的液体；

所述第二液池、所述第三喷淋模块和所述第二烘干模块于所述第二护罩内沿所述第二路径分布。

6.如权利要求5所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一传送模块和所述第二传送模块均包括传送轮和传送皮带，所述传送轮包括：

轮主体；以及

皮带支撑环，分别设于所述轮主体的轴向两端，所述皮带支撑环的外周面设有用于容纳所述传送皮带的皮带定位环槽，所述皮带定位环槽的内径大于所述轮主体的外径；

相邻两个传送皮带的内缘间距不小于工件的宽度。

7.如权利要求6所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第一喷淋件，所述第一喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；

所述第二喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第二喷淋件，所述第二喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；

所述第一烘干模块包括两个沿上下方向分布的第一烘干件，所述第一烘干件分别从上下两侧对工件进行吹风烘干；

所述第三喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第三喷淋件，所述第三喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；

所述第二烘干模块包括两个沿上下方向分布的第二烘干件，所述第二烘干件分别从上下两侧对工件进行吹风烘干。