[实用新型]蚀刻预处理装置

说明书

本实用新型提供了一种蚀刻预处理装置，属于蚀刻生产技术领域，包括。本实用新型提供的蚀刻预处理装置包括第一清理单元、第二清理单元和转运单元，第一清理单元包括第一传送模块、第一护罩第一喷淋模块、第二喷淋模块、透明观察窗、第一烘干模块和第一液池；第一喷淋模块用于向工件喷淋微蚀剂，第二喷淋模块用于向工件喷淋清水，第一护罩侧壁上设有与第一护罩活动连接的透明观察窗，第一烘干模块用于烘干工件。本实用新型提供的蚀刻预处理装置大大减少了人工参与微蚀清洗的步骤，降低了操作人员的劳动强度，保证微蚀剂的可靠性，提高蚀刻生产整体生产效率，也有利于保护生产环境。

技术领域

本实用新型属于蚀刻生产技术领域，更具体地说，是涉及一种蚀刻预处理装置。

背景技术

金属蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密金属蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，金属蚀刻更是不可或缺的技术。

不论是铜、铝、不锈钢、镍片等，在材料商生产出金属料材后，有的会在表面涂一层防锈油，有的只表面附一层保护膜，如此对产品表面可以减少短时间内表面氧化，但是在上油墨之前若不清洗去氧化与除油，会严重影响油墨的附着力，进而影响蚀刻效果。另外，在金属原件上还可能会有氧化层的存在，这是由于金属表面在加工、运输或储存过程中与空气中的氧、硫、水分等接触，容易生成氧化膜或锈层，如果在蚀刻前不将锈层或膜层彻底清除，就会影响蚀刻的效果和质量，不需蚀刻部位的防护层质量不保证，蚀刻部位的表面由于有氧化膜的阻碍，不能充分与蚀刻溶液接触，影响金属溶解的速度和蚀刻表面的均匀度。

现有蚀刻前的清洗过程主要依靠操作人员手工完成，清洗效率较低。劳动强度较大，且清洗质量参差不齐，影响了蚀刻生产的整体效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蚀刻预处理装置，旨在解决现有技术中存在的蚀刻前清洗过程主要通过手工完成，导致劳动强度大，清洗效率低的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种蚀刻预处理装置，包括：

第一清理单元，用于清理工件表面油污；

第二清理单元，用于清理工件表面氧化层；以及

转运单元，用于将工件从所述第一清理单元转运至所述第二清理单元；

所述第一清理单元包括：

第一传送模块，用于沿第一路径传送工件；

第一护罩，罩设于所述第一传送模块上方；

第一喷淋模块，用于向工件喷淋微蚀剂；

第二喷淋模块，用于向工件喷淋清水；

透明观察窗，设于所述第一护罩侧壁上，且与所述第一护罩活动连接；

第一烘干模块，用于烘干工件；以及

第一液池，设于所述第一传送模块下方，用于收集所述第一喷淋模块和所述第二喷淋模块喷出的液体；

所述第一喷淋模块、所述第二喷淋模块、所述透明观察窗和所述第一烘干模块于所述第一护罩内沿所述第一路径分布。

作为本申请另一实施例，所述第一护罩的进口和出口均盖设有柔性帘，所述第一护罩上部设有第一排气口，所述第一排气口处设有第一抽吸过滤组件。

作为本申请另一实施例，所述第一抽吸过滤组件包括：

缓冲筒，底端与所述第一排气口连通，所述缓冲筒的内径从下至向逐渐增大；