[实用新型]气体流量传感器芯片以及气体流量传感器

权利要求书

1.一种气体流量传感器芯片，其包括基体(21)以及感应膜片(22)，所述基体(21)设有通孔(213)，所述感应膜片(22)置于通孔(213)处，所述感应膜片(22)包括基片(221)、置于基片(221)上的加热器(222)、置于加热器(222)一侧的第一热电偶(223)以及置于加热器(222)另一侧的第二热电偶(224)，所述加热器(222)设有第一中心轴(L2)，所述第一热电偶(223)和第二热电偶(224)以第一中心轴(L2)为中心对称设置，其特征在于，所述基片(221)为压电材料制成。

2.如权利要求1所述的气体流量传感器芯片，其特征在于，所述通孔(213)包括设于基体(21)的上表面的第一开口(2131)以及位于基体(21)的下表面的第二开口(2132)，所述第一开口(2131)的面积小于第二开口(2132)的面积，所述感应膜片(22)置于第一开口(2131)处。

3.如权利要求2所述的气体流量传感器芯片，其特征在于，所述通孔(213)自第一开口(2131)通过平滑的方式过度到第二开口(2132)。

4.如权利要求2所述的气体流量传感器芯片，其特征在于，所述第一开口(2131)和第二开口(2132)均为方形，所述第一开口(2131)和第二开口(2132)为同心设置且设有相同的第二中心轴(L1)。

5.如权利要求1所述的气体流量传感器芯片，其特征在于，所述加热器(222)、第一热电偶(223)和第二热电偶(224)置于基片(221)的上表面，所述基片(221)的下表面朝向通孔(213)。

6.如权利要求1所述的气体流量传感器芯片，其特征在于，所述感应膜片(22)的厚度为40um至60um。

7.一种气体流量传感器，其包括流道(1)以及气体流量传感器芯片(2)，所述气体流量传感器芯片(2)包括基体(21)以及感应膜片(22)，所述感应膜片(22)置于流道(1)内，所述基体(21)设有通孔(213)，所述感应膜片(22)置于通孔(213)处，所述感应膜片(22)包括基片(221)、置于基片(221)上的加热器(222)、置于加热器(222)一侧的第一热电偶(223)以及置于加热器(222)另一侧的第二热电偶(224)，所述加热器(222)设有第一中心轴(L2)，所述第一热电偶(223)和第二热电偶(224)以第一中心轴(L2)为中心对称设置，其特征在于，所述基片(221)为压电材料制成。

8.如权利要求7所述的气体流量传感器，其特征在于，其还包括与基片(221)信号连接的信号发生器(3)。

9.如权利要求7所述的气体流量传感器，其特征在于，所述流道(1)包括主流道(11)以及与主流道(11)相连的第一分流道(13)和第二分流道(12)，所述第二分流道(12)设有与主流道(11)平行的水平段(122)，所述感应膜片(22)置于第二分流道(12)的水平段(122)。

10.如权利要求9所述的气体流量传感器，其特征在于，所述第二分流道(12)还包括与水平段(122)相连的第一连接部(121)和水平段(122)相连的第二连接部(123)，所述第一连接部(121)与主流道(11)和第一分流道(13)相交，所述第二连接部(123)与第一分流道(13)的出口端(15)相交。