[实用新型]气体流量传感器芯片以及气体流量传感器

说明书

本实用新型提供一种气体流量传感器芯片，其包括基体以及感应膜片，所述基体设有通孔，感应膜片置于通孔处。感应膜片包括基片、置于基片上的加热器、置于加热器一侧的第一热电偶以及置于加热器另一侧的第二热电偶，加热器设有第一中心轴。第一热电偶和第二热电偶以第一中心轴为中心对称设置。基片为压电材料制成。本实用新型提供的气体流量传感器通过将基片设为压电材料制成，可以起到对传感器的清洁的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种气体流量传感器芯片，尤其是一种带有气体流量传感器芯片的气体流量传感器。

背景技术

现有的气体流量传感器包括流道以及气体流量传感器芯片。气体流量传感器芯片包括基体以及感应膜片，感应膜片置于流道内。基体设有通孔，感应膜片置于通孔处。所述感应膜片包括基片、置于基片上的加热器、置于加热器一侧的第一热电偶以及置于加热器另一侧的第二热电偶。基片为硅材质制成。气体流量传感器在使用过程中，会有少部分污染物会落到感应膜片上，经过一段时间的沉积，污染物会越来越多，从而引起传感器输出信号的偏移。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可以自清洁的气体流量传感器。

根据本实用新型的一个方面，提供一种气体流量传感器芯片，其包括基体以及感应膜片，所述基体设有通孔。感应膜片置于通孔处。所述感应膜片包括基片、置于基片上的加热器、置于加热器一侧的第一热电偶以及置于加热器另一侧的第二热电偶。所述加热器设有第一中心轴，第一热电偶和第二热电偶以第一中心轴为中心对称设置。基片为压电材料制成。

优选地，所述通孔包括设于基体的上表面的第一开口以及位于基体的下表面的第二开口，所述第一开口的面积小于第二开口的面积，所述感应膜片置于第一开口处。

优选地，所述通孔自第一开口通过平滑的方式过度到第二开口。

优选地，所述第一开口和第二开口均为方形，所述第一开口和第二开口为同心设置且设有相同的第二中心轴。

优选地，所述加热器、第一热电偶和第二热电偶置于基片的上表面，所述基片的下表面朝向通孔。

优选地，所述感应膜片的厚度为40um至60um。

根据本实用新型的一个方面，还提供一种气体流量传感器，其包括流道以及气体流量传感器芯片。气体流量传感器芯片包括基体以及感应膜片，感应膜片置于流道内。基体设有通孔，感应膜片置于通孔处。所述感应膜片包括基片、置于基片上的加热器、置于加热器一侧的第一热电偶以及置于加热器另一侧的第二热电偶，所述加热器设有第一中心轴，所述第一热电偶和第二热电偶以第一中心轴为中心对称设置。基片为压电材料制成。

优选地，其还包括与基片信号连接的信号发生器。

优选地，所述流道包括主流道以及与主流道相连的第一分流道和第二分流道，所述第二分流道设有与主流道平行的水平段，所述感应膜片置于第二分流道的水平段。

优选地，所述第二分流到还包括与水平段相连的第一连接部和水平段相连的第二连接部，所述第一连接部与主流道和第一分流道相交，所述第二连接部与第一分流道的出口端相交。

本实用新型提供的气体流量传感器通过将基片设为压电材料制成，可以起到对传感器的清洁的效果。

附图说明

图1为本实用新型的气体流量传感器的主视图。

图2为本实用新型的气体流量传感器芯片的剖视图。

图3为基体的主视图。

图4为基体的后视图。

图5为感应膜片与信号发生器相连的示意图。

具体实施方式