[实用新型]新型薄膜测厚装置

权利要求书

1.新型薄膜测厚装置，其特征在于，包括底架、基座、减震垫、C型架、激光传感器和往复移动机构，所述的基座位于底架的上部，与底架之间安装有减震垫；在该基座的上部，沿基座的长度方向安装有直线导轨，该直线导轨的一端安装有第一端板，另一端安装有第二端板，所述的直线导轨上安装有滑板，该滑板与所述的直线导轨滑动配合；该滑板通过所述的往复移动机构驱动；在该滑板的上部固定安装有一C型架，该C型架的开口形成料槽；在该C型架的开口处的端部安装有两个激光传感器，两个传感器沿竖直方向设置，处于一同条直线上；所述的两个激光传感器之间形成薄膜通过的间距。

2.根据权利要求1所述的新型薄膜测厚装置，其特征在于，所述的往复移动机构包括伺服电机、丝杆和轴承座，该丝杆的一端转动的安装在第一端板上，另一端依次穿过所述的滑板、轴承座和第二端板后与伺服电机的电机轴传动连接，该丝杆与轴承座之间安装有轴承，所述的伺服电机安装在第二端板的外侧。

3.根据权利要求1或2所述的新型薄膜测厚装置，其特征在于，所述的C型架以及基座的材质为大理石。

4.根据权利要求1所述的新型薄膜测厚装置，其特征在于，所述的减震垫为橡胶减震垫。

5.根据权利要求4所述的新型薄膜测厚装置，其特征在于，所述的减震垫为三层。