[实用新型]新型薄膜测厚装置

说明书

本实用新型涉及一种新型薄膜测厚装置，包括底架、基座、减震垫、C型架、激光传感器和往复移动机构，所述的基座位于底架的上部，与底架之间安装有减震垫；在该基座的上部，沿基座的长度方向安装有直线导轨，该直线导轨的一端安装有第一端板，另一端安装有第二端板，所述的直线导轨上安装有滑板，该滑板与所述的直线导轨滑动配合。本实用新型的优点是：结构简单，使用方便，通过将C型架以及基座的结构改进，同时C型架以及基座采用大理石材质，没有热胀冷缩的特性避免床身的震动以及C型架的热胀冷缩对激光传感器测量结果的影响，通过设置两个激光传感器同轴，提高测量精度值。

技术领域

本实用新型涉及一种新型薄膜测厚装置，涉及薄膜制造领域。

背景技术

在薄膜生产过程中，为了控制薄膜的厚度，需要用到薄膜测厚仪来为其提供厚度数据。现有的测厚装置，对于激光传感器精度要求很高，床身整体的震动以及扫描架的热胀冷缩，会造成传感器的误差，无法保证测量结果的精度

常规扫描架材质是铁的，传动方式是用同步带牵引。存在的问题：1、金属铁存在热涨冷缩，会导致上下激光头错位，影响精度。2、铁质扫描架重量大，在换向时，由于惯性大，会导致床身整体抖动。3、同步带传动方式，由于同步带和同步轮存在间隙，导致定位精度不高，且会导致上下激光头错位，影响精度。

发明内容

为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种新型薄膜测厚装置，本实用新型的技术方案是：

新型薄膜测厚装置，包括底架、基座、减震垫、C型架、激光传感器和往复移动机构，所述的基座位于底架的上部，与底架之间安装有减震垫；在该基座的上部，沿基座的长度方向安装有直线导轨，该直线导轨的一端安装有第一端板，另一端安装有第二端板，所述的直线导轨上安装有滑板，该滑板与所述的直线导轨滑动配合；该滑板通过所述的往复移动机构驱动；在该滑板的上部固定安装有一C型架，该C型架的开口形成料槽；在该C型架的开口处的端部安装有两个激光传感器，两个传感器沿竖直方向设置，处于一同条直线上；所述的两个激光传感器之间形成薄膜通过的间距。

所述的往复移动机构包括伺服电机、丝杆和轴承座，该丝杆的一端转动的安装在第一端板上，另一端依次穿过所述的滑板、轴承座和第二端板后与伺服电机的电机轴传动连接，该丝杆与轴承座之间安装有轴承，所述的伺服电机安装在第二端板的外侧。

所述的C型架以及基座的材质为大理石。

所述的减震垫为橡胶减震垫。

所述的减震垫为三层。

本实用新型的优点是：结构简单，使用方便，通过将C型架以及基座的结构改进，同时C型架以及基座采用大理石材质，没有热胀冷缩的特性避免床身的震动以及C型架的热胀冷缩对激光传感器测量结果的影响，通过设置两个激光传感器同轴，提高测量精度值。

附图说明

图1是本实用新型的主体结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例来进一步描述本实用新型，本实用新型的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但这些实施例仅是范例性的，并不对本实用新型的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本实用新型的精神和范围下可以对本实用新型技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本实用新型的保护范围内。