[实用新型]一种光刻胶灌装装置

权利要求书

1.一种光刻胶灌装装置，其特征在于，包括取胶筒(2)，所述取胶筒(2)沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室(4)若干个，储胶室(4)的出口处设置有可滑动盖合所述储胶室(4)的闸板(6)，所述取胶筒(2)的顶部设置有推动油缸(9)，推动油缸(9)的底部输出端设置有竖向的推动伸缩臂，推动伸缩臂的底端设置有安装架(10)，安装架(10)的底部安装有负压泵(11)，负压泵(11)的输入端位于下方，输入端设置有吸取管头(12)，吸取管头(12)位于储胶室(4)的上方，负压泵(11)的输出端位于一侧，输出端向外引出输液管道(13)，输液管道(13)远离负压泵(11)的端部设置有灌装管头(14)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述取胶筒(2)的中心插设有驱动轴(3)，驱动轴(3)的一端向外延伸至取胶筒(2)的外侧，驱动轴(3)的外端与旋转电机(15)的输出端呈同心固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述取胶筒(2)的底部放置有胶液储藏盆(1)。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述取胶筒(2)在每一个所述的储胶室(4)的侧部对应位置处分别设置有推杆电机(5)，推杆电机(5)的输出端设置有推杆(7)，推杆(7)的端部铰接有闸板(6)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述闸板(6)盖合在储胶室(4)的出口上，闸板(6)由第一闸板(61)和第二闸板(62)组成，第二闸板(62)的一端铰接在取胶筒(2)上，第二闸板(62)的另一端与第一闸板(61)铰接，所述推杆(7)远离推杆电机(5)的一端铰接在第二闸板(62)上。

6.根据权利要求5所述的一种光刻胶灌装装置，其特征在于，所述储胶室(4)的出口内侧壁两壁面对应位置处分别设置有滑轨(8)，所述第一闸板(61)的边缘两侧分别设置有与所述滑轨(8)的位置相适配的导向轮(16)。