[实用新型]一种用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置

权利要求书

1.一种用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，包括：

底座；

支撑盘，水平布置于所述底座上，并与所述底座转动连接，用于放置工件；

夹具，固定安装在所述支撑盘上，用于夹紧所述工件；

腐蚀液喷嘴，设置于所述工件的上方，用于向所述工件的加工表面喷洒腐蚀液；

以及保护性流体喷头，所述布置于所述工件上方，用于向所述工件边缘喷射流体；

其中，所述保护性流体喷头能够沿所述支撑盘的径向移动。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，所述保护性流体喷头包括输液管道与若干喷头，若干所述喷头固定安装在所述输液管上，且沿着所述支撑盘的径向布置。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，所述喷头呈梳状。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，所述支撑盘上开设有若干通孔。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，还包括清洗喷嘴，所述清洗喷嘴喷射流体，用于清洗和/或烘干所述工件表面。

6.根据权利要求5所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，所述清洗喷嘴喷射的流体包括：

纯水，用于清洗所述工件表面；和/或

氮气，用于烘干所述工件表面。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，还包括环形托盘，所述环形托盘围绕所述支撑盘布置，其内环部低于所述工件的加工面，且其外沿高于所述工件的加工面。

8.根据权利要求1所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，所述腐蚀液喷射的液体包括氢氟酸。

9.根据权利要求1所述的用于晶圆与环形玻璃载板的蚀刻装置，其特征在于，所述保护性流体喷头喷射的流体为氮气或纯水。