[实用新型]一种冷水辊及原子层沉积设备

权利要求书

1.一种冷水辊，其特征在于，所述冷水辊包括：

外筒；

内筒，所述内筒的轴心位置设置有第一流道，所述内筒套设于所述外筒内，所述外筒的周壁与所述内筒的周壁之间形成第二流道，所述第二流道呈螺旋设置，所述第一流道与所述第二流道连通；

其中，冷却液体从所述第一流道流入，从所述第二流道流出。

2.如权利要求1所述的冷水辊，其特征在于，所述内筒的内部还设置有衔接流道，所述第一流道和所述第二流道通过所述衔接流道连通。

3.如权利要求2所述的冷水辊，其特征在于，所述冷水辊还包括：

接头，所述接头与所述外筒和所述内筒连接，所述接头内设置有入水通道和出水通道，所述接头远离所述外筒的一端设置有出水接口和入水接口，所述入水接口与所述入水通道连通，所述出水接口与所述出水通道流通，所述入水通道还与所述第一流道连通，所述出水通道还与所述第二流道连通；

其中，冷却液体通过入水接口依次流入所述入水通道、所述第一流道、所述衔接流道、所述第二流道以及所述出水通道，再通过出水接口流出所述出水通道。

4.如权利要求1所述的冷水辊，其特征在于，所述内筒的内部还设置有若干空腔，若干所述空腔位于所述第一流道与所述第二流道之间。

5.如权利要求3所述的冷水辊，其特征在于，所述冷水辊还包括：

过渡筒，所述过渡筒内设置有第三流道和第四流道，所述过渡筒的一端与所述接头连接，所述第三流道与所述入水通道连通，所述第四流道与所述出水通道连通，所述过渡筒远离所述接头的一端与所述外筒和所述内筒连接，所述第三流道还与所述第一流道连通，所述第四流道还与所述第二流道连通。

6.如权利要求5所述的冷水辊，其特征在于，所述外筒、所述内筒、所述过渡筒均采用焊接固定连接。

7.如权利要求6所述的冷水辊，其特征在于，所述外筒、所述内筒、所述过渡筒均由不锈钢制作而成。

8.如权利要求5所述的冷水辊，其特征在于，所述过渡筒与所述接头可拆卸连接。

9.如权利要求5所述的冷水辊，其特征在于，所述外筒远离所述接头的一端设置有旋转凸起，所述接头与所述外筒之间设置有旋转间隙，所述接头上套设有轴承，所述轴承位于所述旋转间隙内。

10.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的冷水辊，所述原子层沉积设备还包括：

机座，所述机座上设置有至少一所述冷水辊，工件经过于所述冷水辊，并与所述冷水辊抵接，所述冷水辊用于给所述工件降温。