[实用新型]一种冷水辊及原子层沉积设备

说明书

本实用新型提供了一种冷水辊及原子层沉积设备，其中冷水辊主要包括外筒和内筒。内筒的轴心位置开设第一流道，且内筒套设于外筒内，外筒的周壁与内筒的周壁之间形成第二流道，第二流道呈螺旋设置，第一流道与所述第二流道连通，可使冷水从第一流道进入，再流至第二流道内，由于第二流道呈螺旋设置，使得第二流道内的水流与冷水辊的接触面积增大，有效降低冷水辊的热量，提高冷水辊与卷料之间的热交换效果。

技术领域

本实用新型涉及冷却设备技术领域，特别涉及一种冷水辊及原子层沉积设备。

背景技术

冷水辊，是作为在卷料设备中给料条降温的部件，而现有技术中的冷水辊的结构比较复杂，难以对贴附在冷水辊表面的卷料进行快速降温。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种冷水辊及原子层沉积设备，旨在解决现有技术中的冷水辊的结构比较复杂，难以对贴附在冷水辊表面的卷料进行快速降温的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种冷水辊，所述冷水辊包括：

外筒；

内筒，所述内筒的轴心位置设置有所述第一流道，所述内筒套设于所述外筒内，所述外筒的周壁与所述内筒的周壁之间形成所述第二流道，所述第二流道呈螺旋设置，所述第一流道与所述第二流道连通；

其中，冷却液体从所述第一流道流入，从所述第二流道流出。

优选的，所述内筒的内部还设置有衔接流道，所述第一流道和所述第二流道通过所述衔接流道连通。

优选地，所述冷水辊还包括：

接头，所述接头与所述外筒和所述内筒连接，所述接头内设置有入水通道和出水通道，所述接头远离所述筒体的一端设置有所述出水接口和所述入水接口，所述入水接口与所述入水通道连通，所述出水接口与所述出水通道流通，所述入水通道还与所述第一流道连通，所述出水流道还与所述第二流道连通。

其中，冷却液体通过入水接口依次流入所述入水通道、所述第一流道、所述衔接流道、所述第二流道以及所述出水通道，再通过出水接口流出所述出水通道。

优选地，所述内筒的内部还设置有若干空腔，若干所述空腔位于所述第一流道与所述第二流道之间。

优选地，所述冷水辊还包括：

过渡筒，所述过渡筒内设置有第三流道和第四流道，所述过渡筒的一端与所述接头连接，所述第三流道与所述入水通道连通，所述第四流道与所述出水通道连通，所述过渡筒远离所述接头的一端与所述外筒和所述内筒连接，所述第三流道还与所述第一流道连通，所述第四流道还与所述第二流道连通。

优选地，所述外筒、所述内筒、所述过渡筒均采用焊接固定连接。

优选地，所述外筒、所述内筒、所述过渡筒均由不锈钢制作而成。

优选地，所述过渡筒与所述接头可拆卸连接。

优选地，所述外筒远离所述接头的一端设置有旋转凸起，所述接头与所述外筒之间设置有旋转间隙，所述冷水辊还包括：

轴承，所述轴承套设于所述接头上，所述轴承位于所述旋转间隙内。

本实用新型还提出包括上述任一项所述的冷水辊，所述原子层沉积设备还包括：

机座，所述机座上设置有至少一所述冷水辊，所述工件经过于所述冷水辊，并与所述冷水辊抵接，所述冷水辊用于给所述工件降温。