[实用新型]一种用于检测半导体的设备及关键结构

权利要求书

1.一种用于检测半导体的设备，其特征在于：包括检测台（1）上侧的运输机构、检测机构和收集机构；

所述运输机构包括运输带（2）、转向辊（5）和翻转装置（4），所述运输带（2）位于检测台（1）的上侧，且左端连接有电机，转向辊（5）位于运输带（2）的中部，转向辊（5）通过皮带（6）连接翻转装置（4），所述翻转装置（4）包括转辊（7）和外侧的翻转轮（8），翻转轮（8）由支架（9）和外端的刷子（10）组成；

所述检测机构包括外观检测仪（3）、电气检测仪（11）和电磁铁（12），外观检测仪（3）位于翻转装置（4）的左右两侧，外观检测仪（3）通过摄像机接收信号，再通过电连接控制装置，控制装置中包含对比单元，所述电磁铁（12）的下方设有衔铁（13），衔铁（13）固定在连杆（15）上端，连杆（15）与电磁铁（12）之间设有复位弹簧（14），连杆（15）的下端连接有若干缓冲弹簧（17），缓冲弹簧（17）的下端连接有探针卡（16），连杆（15）的右侧连接有压杆（18），所述压杆（18）包括中部的弹簧和下端的滚轮，滚轮的左侧设有挡板；

所述收集机构包括导引板（19）、转向板（20）和收集框（22），导引板（19）固定连接在检测台（1）的右侧，转向板（20）位于导引板（19）的下方，转向板（20）的轴心处连接在电机一（21）的转轴上，电机一（21）固定在立柱上，收集框（22）位于转向板（20）的右下方且设有两个。

2.根据权利要求1所述的一种用于检测半导体的设备，其特征在于：所述运输带（2）的上侧低于检测台（1）的上侧，即运输带（2）的前后两侧位于检测台（1）的台面内。

3.根据权利要求1所述的一种用于检测半导体的设备，其特征在于：所述转向辊（5）设有三个，中间的转向辊（5）位于运输带（2）的上侧，转向辊（5）通过前后两侧的立柱转动连接在检测台（1）的上方，所述支架（9）为板状，刷子（10）掠过运输带（2）和转向辊（5）的上侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于检测半导体的设备，其特征在于：所述电磁铁（12）的基座左右两端下侧设有固定耳，连杆（15）的上端通过凸块滑动连接在基座的下方。

5.根据权利要求1所述的一种用于检测半导体的设备，其特征在于：所述探针卡（16）的下方设有顶块，顶块位于运输带（2）的下方，探针卡（16）与控制装置电连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于检测半导体的设备，其特征在于：所述压杆（18）的下端低于探针卡（16）的下端，所述转向板（20）的上侧中间部位设有凸起。

7.一种用于检测半导体的设备用关键结构，其特征在于：所述关键结构为运输机构，包括运输带（2）、转向辊（5）和翻转装置（4），所述运输带（2）位于检测台（1）的上侧，且左端连接有电机，转向辊（5）位于运输带（2）的中部，转向辊（5）通过皮带（6）连接翻转装置（4），所述翻转装置（4）包括转辊（7）和外侧的翻转轮（8），翻转轮（8）由支架（9）和外端的刷子（10）组成。

8.一种用于检测半导体的设备用关键结构，其特征在于：所述关键结构为检测机构，包括外观检测仪（3）、电气检测仪（11）和电磁铁（12），外观检测仪（3）位于翻转装置（4）的左右两侧，外观检测仪（3）通过摄像机接收信号，再通过电连接控制装置，控制装置中包含对比单元，所述电磁铁（12）的下方设有衔铁（13），衔铁（13）固定在连杆（15）上端，连杆（15）与电磁铁（12）之间设有复位弹簧（14），连杆（15）的下端连接有若干缓冲弹簧（17），缓冲弹簧（17）的下端连接有探针卡（16），连杆（15）的右侧连接有压杆（18），所述压杆（18）包括中部的弹簧和下端的滚轮，滚轮的左侧设有挡板。