[实用新型]一种用于检测半导体的设备及关键结构有效

专利信息
申请号: 202020673887.1 申请日: 2020-04-28
公开(公告)号: CN212229092U 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 于海超;赵梁玉;周明;刘明星 申请(专利权)人: 强一半导体(苏州)有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/067;G01R1/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 检测 半导体 设备 关键 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种用于检测半导体的设备及关键结构,所述设备包括检测台、运输带、外观检测仪、翻转装置、转向辊、皮带、转辊、翻转轮、支架、刷子、电气检测仪、电磁铁、衔铁、复位弹簧、连杆、探针卡、缓冲弹簧、压杆、导引板、转向板、电机一和收集框;所述关键结构包括运输机构、检测机构和收集机构。本实用新型结构简单,检测迅速,通过翻转装置的设置能够对半导体进行翻转,并能对半导体进行双面的检查,避免半导体检测不全面的问题,提高固检测的全面性;通过电磁铁和探针卡的设置,对半导体进行电气测试,提高检测的便利性,后侧的收集框可方便的进行分类,方便下一步操作。

技术领域

本实用新型涉及一种检测设备,具体是一种用于检测半导体的设备,属于半导体检测应用技术领域。

背景技术

半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。

半导体器件生产中,从半导体单晶片到制成最终成品,须经历数十甚至上百道工序。为了确保产品性能合格、稳定可靠,并有高的成品率,根据各种产品的生产情况,对所有工艺步骤都要有严格的具体要求,比如对半导体单晶片的外观完整性的检测,以及对半导体单晶片的电气性能的检测。因而,现有的检测装置往往只能检测单个面,对背面缺少检测手段,检测后缺少自动的分类和收集装置。因此,针对上述问题提出一种用于检测半导体的设备。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于检测半导体的设备。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种用于检测半导体的设备,包括检测台上侧的运输机构、检测机构和收集机构。

所述运输机构包括运输带、转向辊和翻转装置,所述运输带位于检测台的上侧,且左端连接有电机,转向辊位于运输带的中部,转向辊通过皮带连接翻转装置,所述翻转装置包括转辊和外侧的翻转轮,翻转轮由支架和外端的刷子组成;

所述检测机构包括外观检测仪、电气检测仪和电磁铁,外观检测仪位于翻转装置的左右两侧,外观检测仪通过摄像机接收信号,再通过电连接控制装置,控制装置中包含对比单元,进行判断,所述电磁铁的下方设有衔铁,衔铁固定在连杆上端,连杆与电磁铁之间设有复位弹簧,连杆的下端连接有若干缓冲弹簧,缓冲弹簧的下端连接有探针卡,连杆的右侧连接有压杆,所述压杆包括中部的弹簧和下端的滚轮,滚轮的左侧设有挡板,防止卡住半导体;

所述收集机构包括导引板、转向板和收集框,导引板固定连接在检测台的右侧,转向板位于导引板的下方,转向板的轴心处连接在电机一的转轴上,电机一固定在立柱上,收集框位于转向板的右下方且设有两个。

优选的,所述运输带的上侧低于检测台的上侧,即运输带的前后两侧位于检测台的台面内,起到限位的作用。

优选的,所述转向辊设有三个,中间的转向辊位于运输带的上侧,转向辊通过前后两侧的立柱转动连接在检测台的上方,所述支架为板状,刷子掠过运输带和转向辊的上侧,带动半导体转动,进而进行翻转,方便后期测试。

优选的,所述电磁铁的基座左右两端下侧设有固定耳,连杆的上端通过凸块滑动连接在基座的下方,给复位弹簧活动的空间。

优选的,所述探针卡的下方设有顶块,顶块位于运输带的下方,起到支撑作用,探针卡与控制装置电连接,对测试结果进行比对。

优选的,所述压杆的下端低于探针卡的下端,对半导体起到拦截作用,所述转向板的上侧中间部位设有凸起,起到导引的作用。

一种用于检测半导体的设备用关键机构,所述关键结构为运输机构,包括运输带、转向辊和翻转装置,所述运输带位于检测台的上侧,且左端连接有电机,转向辊位于运输带的中部,转向辊通过皮带连接翻转装置,所述翻转装置包括转辊和外侧的翻转轮,翻转轮由支架和外端的刷子组成。

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