[实用新型]一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体

权利要求书

1.一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：包括炉丝骨架、内保温层、风冷散热系统、外保温层以及不锈钢外壳，所述内保温层套接在炉丝骨架外侧，所述风冷散热系统套接在内保温层的外侧，所述外保温层套接在风冷散热系统外侧，所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧，所述风冷散热系统用于炉体的散热。

2.根据权利要求1所述一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：所述风冷散热系统包括环形散热管、导热连接管、进风管和出风管，所述环形散热管设有多组。

3.根据权利要求2所述一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：所述环形散热管设有三组，每组环形散热管的两端分别延伸出两个导热连接管和两个进风管。

4.根据权利要求3所述一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：所述导热连接管和进风管分别位于环形散热管的首尾两端，首端和尾端均设有一个导热连接管和一个进风管，每个导热连接管均与出风管连接。

5.根据权利要求1所述一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：所述炉丝骨架由电炉丝和支撑骨架组成，所述支撑骨架设有多个，多个支撑骨架均匀地固定在环形电炉丝的一周，所述支撑骨架由多个安装块和将安装块连接在一起的长销钉构成。

6.根据权利要求5所述一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：所述内保温层和外保温层均为保温棉，所述内保温层由多块保温棉构成。

7.根据权利要求6所述一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：所述内保温层对应支撑骨架设置，多块保温棉分别卡接在支撑骨架之间的电炉丝上。

8.根据权利要求6所述一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，其特征在于：所述外保温层为筒状保温棉，所述不锈钢外壳包括两个半筒状壳体，两个半筒状壳体将筒状保温棉卡在风冷散热系统外侧。