[实用新型]一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体有效
申请号: | 202020682446.8 | 申请日: | 2020-04-28 |
公开(公告)号: | CN212620119U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 王俊朝;寇宗和;杜武明 | 申请(专利权)人: | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
主分类号: | F27D1/12 | 分类号: | F27D1/12;H01L31/18;C23C16/44 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 彭光荣 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 cvd 设备 强制 风冷 | ||
本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体,包括炉丝骨架、内保温层、风冷散热系统、外保温层以及不锈钢外壳,所述内保温层套接在炉丝骨架外侧,所述风冷散热系统套接在内保温层的外侧,所述外保温层套接在风冷散热系统外侧,所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧,所述风冷散热系统用于炉体的散热。在炉子的内保温层外部设置了风冷散热系统,通过分成三段的风冷循环管道在电炉丝的外侧通过循环通风对使用过的电炉丝进行加速冷却,来减少炉体在使用过后的冷却时间,增加了炉体循环使用的频率,进而增加了设备整体的工作效率。
技术领域
本实用新型涉及一种用于扩散和CVD设备的炉体,尤其是一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体。
背景技术
低压扩散设备和管式CVD设备,是太阳能光伏行业使用最普遍的技术设备,而保温炉体是这两种设备中必不可少的重要部件。随着光伏设备技术的发展,降低成本、提高效率的要求越来越高,原有的炉体生产速度已经满足不了生产的需求。而提高单机产能是最直接有效的降本提效方法是提高炉体的使用频率,炉体在使用时需要加热到较高的温度,然后等温度冷却后才能进行下一次加工。现有技术中仅设有保温装置的炉体很难达到快速冷却,使得生产效率无法进一步提高。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种在扩散和CVD设备的炉体上设置了风冷散热系统来加速炉体冷却,进而增加设备生产效率的扩散和CVD设备的强制风冷炉体。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体,包括炉丝骨架、内保温层、风冷散热系统、外保温层以及不锈钢外壳,所述内保温层套接在炉丝骨架外侧,所述风冷散热系统套接在内保温层的外侧,所述外保温层套接在风冷散热系统外侧,所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧,所述风冷散热系统用于炉体的散热。
作为上述技术方案的改进,所述风冷散热系统包括环形散热管、导热连接管、进风管和出风管,所述环形散热管设有多组。
作为上述技术方案的进一步改进,所述环形散热管设有三组,每组环形散热管的两端分别延伸出两个导热连接管和两个进风管。
作为上述技术方案的进一步改进,所述导热连接管和进风管分别位于环形散热管的首尾两端,首端和尾端均设有一个导热连接管和一个进风管,每个导热连接管均与出风管连接。
作为上述技术方案的进一步改进,所述炉丝骨架由电炉丝和支撑骨架组成,所述支撑骨架设有多个,多个支撑骨架均匀地固定在环形电炉丝的一周,所述支撑骨架由多个安装块和将安装块连接在一起的长销钉构成。
作为上述技术方案的进一步改进,所述内保温层和外保温层均为保温棉,所述内保温层由多块保温棉构成。
作为上述技术方案的进一步改进,所述内保温层对应支撑骨架设置,多块保温棉分别卡接在支撑骨架之间的电炉丝上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述外保温层为筒状保温棉,所述不锈钢外壳包括两个半筒状壳体,两个半筒状壳体将筒状保温棉卡在风冷散热系统外侧。
本实用新型的有益效果是:本实用新型公开的扩散和CVD设备的强制风冷炉体在炉子的内保温层外部设置了风冷散热系统,通过分成三段的风冷循环管道在电炉丝的外侧通过循环通风对使用过的电炉丝进行加速冷却,来减少炉体在使用过后的冷却时间,增加了炉体循环使用的频率,进而增加了设备整体的工作效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型装配示意图;
图2是本实用新型结构拆分图;
图3是本实用新型风冷散热系统结构示意图。
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