[实用新型]一种等离子刻蚀机

权利要求书

1.一种等离子刻蚀机，包括一刻蚀腔体和一加热板；所述刻蚀腔体的敞开端固定一陶瓷介质窗；所述陶瓷介质窗的上方固定一产生等离子体的等离子体耦合线圈；所述加热板固定在一屏蔽罩内；所述屏蔽罩的下端敞开；所述屏蔽罩位于所述刻蚀腔体的上方且固定在所述刻蚀腔体上；其特征在于：

所述加热板固定在所述陶瓷介质窗朝向所述等离子体耦合线圈的表面；所述加热板上开设用于供所述等离子体穿过的预留间隙；所述加热板通过一供电电路连接一加热电源。

2.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述陶瓷介质窗的上段固定在所述屏蔽罩内。

3.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述加热板为圆形；所述加热板包括多条沿圆周分布的加热丝；相邻所述加热丝之间围成所述预留间隙。

4.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，进一步包括一用于调节加热温度的温度控制单元；

所述温度控制单元包括：一温度控制器，所述温度控制器的输入端电连接一测温传感器；所述测温传感器固定在所述加热板上；所述温度控制器的输出端电连接一加热电源；所述温度控制器和加热电源之间设置一固态继电器；所述固态继电器设置在所述供电电路上。

5.根据权利要求4所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述进一步包括一用于监测加热温度的辅助测温传感器和一警示器；

所述警示器的输入端电连接所述辅助测温传感器；所述辅助测温传感器固定在所述加热板上。