[实用新型]测试探针、光学芯片模组测试探针组件及测试装置

权利要求书

1.测试探针，其特征在于：包括探针主体，所述探针主体的测试端斜切形成有一斜切平面，所述斜切平面的面积大于其测试端未切割前的端面的面积；所述探针主体为直线状或曲线状或折线状。

2.根据权利要求1所述的测试探针，其特征在于：所述探针主体包括成钝角设置的第一部分及第二部分，所述第二部分与所述斜切平面垂直。

3.根据权利要求1所述的测试探针，其特征在于：所述探针主体为铍青铜。

4.根据权利要求1所述的测试探针，其特征在于：所述探针主体的直径在0.1-0.2mm之间。

5.根据权利要求1-4任一所述的测试探针，其特征在于：所述斜切平面经过或不经过所述探针主体的测试端未切割前的端面，所述斜切平面与探针主体测试端未切割前的端面的夹角在60°-70°之间。

6.光学芯片模组测试探针组件，其特征在于：包括测试探针固定治具，所述测试探针固定治具上设置有一组伸出到其外部的测试探针，每个所述测试探针包括探针主体，所述探针主体的测试端形成有斜切平面，所述斜切平面的面积大于探针主体的测试端未切割前的端面的面积。

7.根据权利要求6所述光学芯片模组测试探针组件，其特征在于：所述测试探针固定治具包括固定座，所述固定座上形成有一斜槽，所述斜槽的槽底连通一排沿斜槽深度方向延伸的导向孔，所述斜槽中设置有嵌入块，所述测试探针设置在所述嵌入块上且每个测试探针穿过一所述导向孔。

8.根据权利要求7所述光学芯片模组测试探针组件，其特征在于：所述斜槽内填充有胶水。

9.根据权利要求8所述光学芯片模组测试探针组件，其特征在于：所述测试探针固定治具还包括与所述固定座连接的保持板，所述保持板上形成有与其垂直且正对斜槽的槽口的定位孔，每个定位孔与一导向孔位置对应且它们的延伸方向呈钝角，每个所述探针主体具有伸入到所述导向孔及定位孔中的部分，且伸入到所述定位孔中的部分与斜切平面垂直。

10.根据权利要求9所述光学芯片模组测试探针组件，其特征在于：所述定位孔为两排，两排定位孔交错分布。

11.根据权利要求6-9任一所述光学芯片模组测试探针组件，其特征在于：所述探针主体的斜切平面与标准平面的平行度公差在0.02mm范围内。

12.根据权利要求6-9任一所述光学芯片模组测试探针组件，其特征在于：所述探针主体为圆柱形铍青铜。

13.测试装置，其特征在于：包括权利要求6-12任一所述的光学芯片模组测试探针组件。