[实用新型]一种铜靶材组件焊接结构及包含其的铜靶材组件有效
| 申请号： | 202020691207.9 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN213235677U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;张余 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F16B5/08 | 分类号： | F16B5/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜靶材 组件 焊接 结构 包含 | ||
【权利要求书】：
1.一种铜靶材组件焊接结构，其特征在于，所述结构包括背板以及铜靶材；
所述背板上设置与铜靶材焊接的第一焊接面，所述第一焊接面上设置有凹槽；
所述铜靶材上设置有与背板焊接的第二焊接面，所述第二焊接面上设置有与所述凹槽相适配的凸台；
所述凹槽底面上设置有端面螺纹；
所述凹槽与凸台的焊接面间隙为0～0.1mm；
所述端面螺纹的螺距为0.4～0.5mm；
所述端面螺纹的切深为0.12～0.18mm。
2.根据权利要求1所述的铜靶材组件焊接结构，其特征在于，所述凹槽和凸台的形状包括长方形、燕尾形或楔形。
3.根据权利要求1或2所述的铜靶材组件焊接结构，其特征在于，所述第一焊接面的粗糙度≤0.4μm。
4.根据权利要求1或2所述的铜靶材组件焊接结构，其特征在于，所述第二焊接面的粗糙度≤0.4μm。
5.根据权利要求1或2所述的铜靶材组件焊接结构，其特征在于，所述凸台与凹槽径向面的间隙为0.3～0.5mm。
6.根据权利要求1或2所述的铜靶材组件焊接结构，其特征在于，所述凸台与凹槽台阶面的间隙为0～0.1mm。
7.一种铜靶材组件，其特征在于，所述组件包括如权利要求1～6任一项所述的铜靶材组件焊接结构。
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