[实用新型]一种硅片吸取装置

权利要求书

1.一种硅片吸取装置,其特征在于：包括进气组件、固定组件和吸取组件，所述固定组件包括吸盘端板(404)、吸盘端块(416)以及连接吸盘端板(404)和吸盘端块(416)的连接杆(402)，所述连接杆(402)将吸取组件与固定组件连接，所述吸取组件包括吸盘(403)，所述吸盘(403)上固设有吸取槽(603)，所述进气组件为吸取组件供气，所述吸取组件通过吸取槽(603)吸取硅片。

2.根据权利要求1所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述进气组件包括吸盘安装板(401)，所述吸盘安装板(401)内设置有开口朝下的通气腔，所述通气腔下侧与固定组件固设连接，所述通气腔与固定组件之间设置有密封圈，所述通气腔一侧连通设置有进气孔，所述进气孔连通设置有连管(400)，所述连管(400)与外接真空设备连通，所述外接真空设备为进气组件供能，所述外接真空设备可设置为真空发生器或真空泵。

3.根据权利要求1所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述固定组件包括设置于所述吸盘端板(404)和吸盘端块(416)上的连接杆腔(405)，所述连接杆(402)贯穿连接杆腔(405)将吸盘端板(404)和吸盘端块(416)固设连接，所述吸取组件设置于连接杆(402)上。

4.根据权利要求1所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述吸取组件由多组吸盘(403)紧密连接而成，所述吸盘(403)包括固定板(601)和吸取板(602)，所述固定板(601)上固设有连接孔(600)，所述连接孔(600)大小和位置与连接杆腔(405)相配，所述连接杆(402)通过贯穿连接孔(600)将吸取组件固设在固定组件上，每组所述吸盘(403)上的固定板(601)紧密贴合，两组所述吸取板(602)间形成有插槽，设备将硅片吸取进入插槽内。

5.根据权利要求1所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述吸取组件还包括固设于一侧吸盘(403)上的通气槽(607)，所述通气槽(607)向上贯穿固定板(601)，所述通气槽(607)前侧连通设置有封腔(608)，所述封腔(608)上固设有吸盘封板(606)，所述通气槽(607)设置有通孔(604)，另一侧的所述吸盘(403)设置有吸取槽(603)，所述吸取槽(603)设置为圆环形结构，所述通孔(604)与吸取槽(603)连通且位于圆环内。

6.根据权利要求2所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述吸盘安装板(401)下侧固设有凹台(406)，所述凹台(406)设置为内凹型结构，包括水平设置的上边(411)和竖直设置的侧边(410)，吸盘端块(416)上侧固设有凸台(407)，所述凸台(407)为外凸型结构，包括水平设置的对边(412)和竖直设置的对侧边(413)，所述侧边(410)与对侧边(413)相贴，所述上边(411)与对边(412)相贴，所述侧边(410)与对边(412)进行卡接，用于两者间安装和定位。

7.根据权利要求1所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述吸盘端块(416)上固设有开口腔(415)，连接杆腔(405)设置于开口腔(415)上，贯穿所述开口腔(415)上连接杆(402)的长度低于开口腔(415)深度，所述连接杆(402)位于开口腔(415)内。

8.根据权利要求4所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述固定板(601)与吸取板(602)间连接设置有斜台(610)，所述斜台(610)与固定板(601)和吸取板(602)所成角度为钝角，所述吸盘(403)设置为一体成型结构，所述吸取板(602)侧边设置有斜槽(605)，所述斜槽(605)与吸取板(602)所成角度设置为钝角，对硅片的进入和离开插槽进行导向。

9.根据权利要求5所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述吸盘封板(606)深度与封腔(608)深度一致，使所述吸盘封板(606)与所述吸盘(403) 处于同一平面。

10.根据权利要求1所述的一种硅片吸取装置，其特征在于：所述吸取组件还包括有真空过滤器，所述真空过滤器过滤空气中的杂质。