[实用新型]一种集成电路测试探针卡及测试系统保护结构

说明书

本实用新型公开了一种集成电路测试探针卡及测试系统保护结构，包括固定块，所述固定块上设有滑动槽，所述固定块内设有安装通槽，所述安装通槽内设有转动吸附块，所述安装通槽内滑动连接有测试探针，所述固定块上设有用于实现连接线连通测试探针的转轴机构，所述固定块上设有用于实现两个测试探针连接的连接机构。本实用新型结构合理，通过设置固定块，将测试探针与连接线分离式连接，避免连接线与测试探针的直接连接，避免测试探针因连接线电流增大而发生熔断报废的现象，通过设置连杆机构实现对测试探针之间的距离保持固定可调，降低多个定距电路在检测过程中的，降低人工测试时对于测试探针的距离调节的工作量。

技术领域

本实用新型涉及集成电路技术领域，尤其涉及一种集成电路测试探针卡及测试系统保护结构。

背景技术

在半导体制造技术中，集成电路芯片在加工完成后需要进行测试，通常可采用集成电路测试系统如ATE(Auto Test Equipment，自动测试设备)来完成集成电路芯片的测试。在晶圆的测试过程中，由于在晶圆上芯片的面积很小，不能通过直接的方法与ATE相连来测试其电气参数，所以就需要引入具有探针的探针卡来转接。

现有的测试探针在使用时通常与连接线直接接触，当测试使用时，若测试电路内发生短路的现象会导致测试探针的末端电流增大，引发测试探针的末端融化，导致探针的报废。此外，现有的测试探针在使用时通常为分离式，通过手持两端探针实现对电路的测试，当测试电路内较多的重复距离圆晶电路时，对于使用者的操作要求严格，稍有错位会导致测试探针的损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种集成电路测试探针卡及测试系统保护结构，其通过设置固定块，将测试探针与连接线分离式连接，避免连接线与测试探针的直接连接，避免测试探针因连接线电流增大而发生熔断报废的现象，通过设置连杆机构实现对测试探针之间的距离保持固定可调，降低多个定距电路在检测过程中的，降低人工测试时对于测试探针的距离调节的工作量。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种集成电路测试探针卡及测试系统保护结构，包括固定块，所述固定块上设有滑动槽，所述固定块内设有安装通槽，所述安装通槽内设有转动吸附块，所述安装通槽内滑动连接有测试探针，所述固定块上设有用于实现连接线连通测试探针的转轴机构，所述固定块上设有用于实现两个测试探针连接的连接机构，所述固定块上固定连接有安装块，所述安装块上设有用于实现测试探针转动的连杆机构。

优选地，所述转轴机构包括设置在固定块上的转动槽，所述转动槽内转动连接有连接轴，所述连接轴上固定连接有连接块，所述连接轴上滑动连接有卡接杆，所述卡接杆末端连接有安装通槽。

优选地，所述连接机构包括设置在固定块上的连接槽与对应连接槽的对接块，所述连接槽内设有卡接槽，所述连接槽内滑动连接有对接板，所述对接板的末端设有配合槽，所述对接板的末端固定连接有卡接块，所述卡接块上固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆滑动连接在对接板内，所述卡接块滑动连接在卡接槽内，所述对接块上固定连接有卡块。

优选地，所述连杆机构包括套设在连接线的套管，所述套管上转动连接有第一连接杆，所述第一连接杆上转动连接有第二连接杆，所述第二连接杆的末端固定连接有推动套管，所述第二连接杆的下端面固定连接有滑动块，所述滑动块滑动连接在滑动槽内。

优选地，所述固定块为热塑型塑料材质。

优选地，所述连接块、连接轴与测试探针材质相同。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：

1、通过设置转轴机构实现连接线与测试探针的活动连接。

2、通过设置连杆机构实现对测试探针之间的距离保持固定可调，降低多个定距电路在检测过程中的，降低人工测试时对于测试探针的距离调节的工作量。