[实用新型]真空镀膜机的自动快速放气装置

权利要求书

1.真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室，其特征在于，所述真空镀膜机的内部设置有真空室，真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道，缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口，且放气口与真空室连通；缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板，且孔板位于静电除尘器的上方，孔板上成型有密集排列分布的锥形孔。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述缓冲气室的右侧管路连接有与外部气源连通的管道，且管道位于静电除尘器的下方。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述管道上分别安装有第一过滤器和气泵，且第一过滤器位于气泵的右侧。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述缓冲气道与缓冲气室之间的顶部管路连接有U形的放气管，放气管上安装有第二过滤器。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述放气管上串联有用于防止气体回流的单向阀。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述锥形孔的形状为类圆锥形状，其孔径从上端至下端逐渐减小。