[实用新型]真空镀膜机的自动快速放气装置

说明书

本实用新型公开了真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室，所述真空镀膜机的内部设置有真空室，真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道，缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口，且放气口与真空室连通；缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板，且孔板位于静电除尘器的上方，孔板上成型有密集排列分布的锥形孔；本实用新型采用密集排列分布的放气口向真空室内放气，有利于往真空室均匀、快速地充气，避免气流在真空室内分布不均；外界气体经过在缓冲气室内缓冲，减缓气体流动，并且被静电除尘器以及孔板配合进行除尘过滤，有效防止灰尘进入真空室内。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及真空镀膜机的自动快速放气装置。

背景技术

真空镀膜机工作时：先抽真空，使真空室处于真空状态，再通过电子枪束流对真空室底部坩埚内的镀膜材料(简称膜料)加热；膜料在加热到一定的温度后，膜料分子会产生挥发，挥发出的膜料分子沉积在真空室顶部的产品表面形成薄膜。当镀膜机镀膜完成后，为将其中的产品取出，会首先向真空室内放入大气。现有的放气结构，缺乏过滤，容易把外界空气中的灰尘带入到真空室；另外，由于放气太快真空室内会形成一股回旋气流，也容易真空室内的粉尘刮起来，进而被刚镀完膜的产品吸附，形成永久性的不良。

实用新型内容

本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室，所述真空镀膜机的内部设置有真空室，真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道，缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口，且放气口与真空室连通；缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板，且孔板位于静电除尘器的上方，孔板上成型有密集排列分布的锥形孔。

作为本实用新型进一步的方案：所述缓冲气室的右侧管路连接有与外部气源连通的管道，且管道位于静电除尘器的下方。

作为本实用新型进一步的方案：所述管道上分别安装有第一过滤器和气泵，且第一过滤器位于气泵的右侧。

作为本实用新型进一步的方案：所述缓冲气道与缓冲气室之间的顶部管路连接有U形的放气管，放气管上安装有第二过滤器。

作为本实用新型进一步的方案：所述放气管上串联有用于防止气体回流的单向阀。

作为本实用新型进一步的方案：所述锥形孔的形状为类圆锥形状，其孔径从上端至下端逐渐减小。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用密集排列分布的放气口向真空室内放气，有利于往真空室均匀、快速地充气，避免气流在真空室内分布不均；外界气体经过在缓冲气室内缓冲，减缓气体流动，并且被静电除尘器以及孔板配合进行除尘过滤，有效防止灰尘进入真空室内。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为真空镀膜机的自动快速放气装置的结构示意图；

图2为真空镀膜机的自动快速放气装置的侧面结构示意图。

图中：1、真空镀膜机，2、缓冲气室，3、真空室，4、缓冲气道，5、放气口，6、静电除尘器，7、孔板，8、锥形孔，9、管道，10、第一过滤器，11、气泵，12、放气管，13、第二过滤器，14、单向阀。

具体实施方式