[实用新型]一种基板剥离装置

权利要求书

1.一种基板剥离装置，其特征在于，包括：

移动平台、固定平台、移动滚轴、抬升滚轴和滚轴控制器；

所述移动平台用于固定待剥离基板；

所述固定平台用于固定产品基板；

所述滚轴控制器用于向所述移动滚轴和所述抬升滚轴施加设定大小的力，并控制所述移动滚轴和所述抬升滚轴沿平行于产品基板表面的方向以及垂直于产品基板表面的方向运动，以在进行待剥离基板剥离时使抬升滚轴位于待剥离基板邻近产品基板的一侧，移动滚轴位于待剥离基板远离产品基板的一侧，并使抬升滚轴和移动滚轴以预设高度差沿平行于产品基板表面的方向运动，以使所述待剥离基板沿着移动滚轴的移动轨迹由所述产品基板上剥离。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述滚轴控制器包括滚轴支撑结构和滚轴驱动器；

所述滚轴支撑结构用于支撑所述抬升滚轴和所述移动滚轴；

所述滚轴驱动器用于向所述移动滚轴和所述抬升滚轴施加设定大小的力，并控制所述移动滚轴和所述抬升滚轴沿平行于产品基板表面的方向以及垂直于产品基板表面的方向运动。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：

位置传感器和压力传感器；

所述位置传感器用于检测所述抬升滚轴和所述移动滚轴的位置；

所述压力传感器用于检测所述抬升滚轴和所述移动滚轴向所述待剥离基板施加的力。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：

所述滚轴驱动器还用于根据所述位置传感器和所述压力传感器测得的数据调整向所述移动滚轴和所述抬升滚轴施加的力以及调整所述移动滚轴和所述抬升滚轴的位置。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述抬升滚轴包括至少两个子滚轴，所述至少两个子滚轴沿所述移动滚轴的长度方向依次排列。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述移动平台包括基座、支撑台和可移动固定板；

所述支撑台固定于所述基座；

所述可移动固定板连接于所述支撑台，所述支撑台包括滑轨，所述可移动固定板可沿所述滑轨运动；

所述可移动固定板用于固定所述待剥离基板。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：

所述固定平台包括真空卡盘，所述真空卡盘用于固定所述产品基板。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括：

压力检测器，用于检测所述真空卡盘与所述产品基板之间的真空压力，以及所述可移动固定板与所待剥离基板之间的真空压力。