[实用新型]电镀装置及其阳极组件

权利要求书

1.一种阳极组件，其特征在于，包括：

互不导通的若干块第一阳极本体，所述若干块第一阳极本体互相套设且同轴，其中位于中心的第一阳极本体为圆柱体，其他的第一阳极本体为环状结构；以及，

互不导通的若干块第二阳极本体，所述若干块第二阳极本体互相套设且同轴，所述若干块第二阳极本体均为环状结构，其中位于最内环的第二阳极本体套设于位于最外环的环状结构的第一阳极本体，并且互不导通，

所述第一阳极本体的投影面积小于所述第二阳极本体的投影面积。

2.如权利要求1所述的阳极组件，其特征在于，每一块所述第一阳极本体的投影面积相同；和/或，

每一块所述第二阳极本体的投影面积相同。

3.如权利要求1所述的阳极组件，其特征在于，所述第一阳极本体的数量为2块～5块。

4.如权利要求1所述的阳极组件，其特征在于，若干块第一阳极本体分为至少两组第一阳极本体；

每一组第一阳极本体分别包括至少一块第一阳极本体；

同一组内的每一块第一阳极本体的投影面积分别相同，不同组内的第一阳极本体的投影面积分别不同。

5.如权利要求1所述的阳极组件，其特征在于，所述阳极组件还包括绝缘层；

两相邻的第一阳极本体之间、两相邻的第一阳极本体与第二阳极本体之间和两相邻的第二阳极本体之间均通过所述绝缘层相隔离。

6.如权利要求5所述的阳极组件，其特征在于，所述绝缘层的材质包括PVDF或PFA；和/或，

所述阳极组件还包括导电基板；

所述第一阳极本体、所述第二阳极本体及所述绝缘层设置于所述导电基板上。

7.如权利要求1～6中任意一项所述的阳极组件，其特征在于，所述第一阳极本体及所述第二阳极本体均为可溶性电极；和/或，

所述第二阳极本体的数量为5块～20块。

8.一种电镀装置，其特征在于，包括控制器、电源模块及如权利要求1～7中任意一项所述的阳极组件；

所述控制器与所述电源模块电连接；

所述控制器被配置为发送供电指令至所述电源模块；

所述电源模块被配置为响应于从所述控制器接收所述供电指令，给至少一块所述第一阳极本体或所述第二阳极本体供电。

9.如权利要求8所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括检测模块；

所述检测模块与所述控制器电连接；

所述电源模块的正极与所述阳极本体电连接，所述电源模块的负极与电镀工件电连接；

所述检测模块被配置为获取形成于所述电镀工件上的电镀层的厚度分布数据并输出至所述控制器；

所述控制器被配置为生成所述供电指令。

10.如权利要求9所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括存储器；

所述存储器与所述控制器电连接；

所述存储器被配置为存储所述电镀装置的电镀参数。