[实用新型]振动植针装置有效
申请号: | 202020720719.3 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN211879330U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 梁猛;戴伟 | 申请(专利权)人: | 上海世禹精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/67 |
代理公司: | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人: | 许力;张坚 |
地址: | 201600 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 装置 | ||
1.一种振动植针装置,其特征在于,包括:
固定在振动台上的底座,所述底座的内部具有可通过抽真空设备进行抽真空的抽真空腔,该底座的顶部具有植针板放置平台,所述植针板放置平台上具有上下方向且与植针板的植针区域对应的第一通孔,所述第一通孔与所述抽真空腔连通,所述植针板放置平台上具有用于对压盖进行定位的定位件,所述定位件位于所述第一通孔周围;
用于压住所述植针板的压盖,所述压盖上具有上下方向且与所述植针区域对应的第二通孔;
可下压并锁定以对所述压盖施以持续下压力的下压机构。
2.根据权利要求1所述的一种振动植针装置,其特征在于,所述第一通孔以及第二通孔略大于所述植针区域。
3.根据权利要求2所述的一种振动植针装置,其特征在于,所述压盖包括定位板以及压板,所述定位板的下表面具有用于罩住所述植针板并前后左右进行限位的限位槽,所述定位板上具有上下方向且与所述植针区域对应的第三通孔,所述第三通孔略大于所述植针区域,所述压板压设于所述定位板上,其上形成所述第二通孔,所述第二通孔具有向下伸入所述第三通孔以压住所述植针板的环形延伸部,所述环形延伸部的外径与第三通孔的内径适配。
4.根据权利要求3所述的一种振动植针装置,其特征在于,所述第二通孔的深度大于等于针的长度。
5.根据权利要求4所述的一种振动植针装置,其特征在于,所述压板采用石墨材质。
6.根据权利要求5所述的一种振动植针装置,其特征在于,所述定位件包括左右对称布置的四个定位柱以及前后对称布置的四个定位台,所述下压机构为四个,四个下压机构分别固定在所述四个定位台上。
7.根据权利要求6所述的一种振动植针装置,其特征在于,所述下压机构包括铰接座、活动臂、压头、传动臂以及手柄,所述铰接座固定在所述定位台上,该铰接座的中部具有面朝后侧且用于止挡传动臂后端的止挡斜面,所述活动臂具有第一固定端以及第二固定端,所述第一固定端以及第二固定端位于自由端的后侧,并且所述第二固定端低于第一固定端,所述第二固定端与铰接座的前侧前后转动铰接,所述压头与活动臂的自由端固定,所述传动臂的前端与第一固定端前后转动铰接,所述手柄具有第三固定端以及第四固定端,所述第三固定端以及第四固定端位于手柄的自由端的下方,并且所述第四固定端低于第三固定端,所述手柄的自由形成柄部,所述第三固定端与传动臂的后端前后转动铰接,所述第四固定端与铰接座的后侧前后转动铰接。
8.根据权利要求7所述的一种振动植针装置,其特征在于,所述铰接座由一支撑板构成,所述支撑板竖直布置,其下端具有固定片,所述固定片与定位台固定,所述支撑板的上侧前部形成第一铰接角,上侧后部形成第二铰接角,所述第一铰接角高于第二铰接角,所述第一铰接角与第二固定端铰接,所述第二铰接角与第四固定端铰接,所述止挡斜面为第二铰接角的后侧斜面;
所述传动臂前高后低倾斜布置,其后端形成与止挡斜面配合的凸出部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造