[实用新型]一种真空六自由度运动平台

权利要求书

1.一种真空六自由度运动平台，包括运动台本体(1)，其特征在于，所述运动台本体(1)的上端固定连接有过渡转接板(2)，所述过渡转接板(2)的内部设有多个真空航插(12)，所述过渡转接板(2)的下端设有用于固定的法兰(3)，所述运动台本体(1)的内部于过渡转接板(2)的下方设有X轴平移台(4)，所述X轴平移台(4)的下方设有Y轴平移台(5)，所述Y轴平移台(5)的下方设有连接杆(13)。

2.根据权利要求1所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，所述过渡转接板(2)的上端于多个真空航插(12)的内部均设有用于悬挂整个装置的挂环(11)。

3.根据权利要求1所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，所述连接杆(13)的前端设有Z轴升降台(6)，所述Z轴升降台(6)的下方设有Y轴弧摆台(7)，所述Y轴弧摆台(7)的下方设有X轴弧摆台(8)，所述X轴弧摆台(8)的下方设有Z轴旋转台(9)，所述Z轴旋转台(9)的下方设有摆心(10)。

4.根据权利要求3所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，所述运动台本体(1)的适用环境为10^-3帕斯卡真空环境，所述运动台本体(1)通过多个挂环(11)倒挂于靶室顶部，所述运动台本体(1)的承重为500克，所述运动台本体(1)的内部设有航插、盲板、电机线及六个设置于运动轴前端的电机，六个所述电机的型号均为进口真空电机。

5.根据权利要求4所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，在所述运动台本体(1)做直线运动的过程中，当作前后运动时，所述X轴平移台(4)的行程误差在50mm以内，所述电机的马达步进精度在1.5μm以内，所述X轴平移台(4)的复位精度在5μm以内，当作左右运动时，所述Y轴平移台(5)的行程误差在50mm以内，所述电机的马达步进精度在1.5μm以内，所述Y轴平移台(5)的复位精度在5μm以内，当作上下运动时，所述Z轴升降台(6)的行程误差在60mm以内，所述电机的马达步进精度在1.5μm以内，所述Z轴升降台(6)的复位精度在5μm以内。

6.根据权利要求3所述的一种真空六自由度运动平台，其特征在于，在所述运动台本体(1)做角度运动的过程中，当做前后俯仰运动时，所述Y轴弧摆台(7)的调节范围在10°以内，电机的马达步进精度在30秒以内，所述Y轴弧摆台(7)的复位精度在1分以内；当做左右偏摆运动时，所述X轴弧摆台(8)的调节范围在10°以内，电机的马达步进精度在30秒以内，所述X轴弧摆台(8)的复位精度在1分以内；当做水平转动运动时，所述Z轴旋转台(9)的调节范围为360°，电机的马达步进精度在30秒以内，所述Z轴旋转台(9)的复位精度在1分以内。