[实用新型]一种真空六自由度运动平台

说明书

本实用新型公开了一种真空六自由度运动平台，包括运动台本体，所述运动台本体的上端固定连接有过渡转接板，所述过渡转接板的内部设有多个真空航插，所述过渡转接板的下端设有用于固定的法兰，所述运动台本体的内部于过渡转接板的下方设有X轴平移台，所述X轴平移台的下方设有Y轴平移台，所述Y轴平移台的下方设有连接杆。本实用新型结构合理，可以减少运动平台在工作时存在的误差，提高其精度。

技术领域

本实用新型涉及运动平台技术领域，尤其涉及一种真空六自由度运动平台。

背景技术

任何一个没有受约束的物体，在空间均具有六个独立的运动，即沿x、y、z 三个直角坐标轴方向的移动自由度和绕这三个坐标轴的转动自由度，因此，要完全确定物体的位置，就必须清楚这六个自由度。现有的真空六自由度运动平台在工作时存在着误差较大的情况，进而影响运动平台的正常工作。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空六自由度运动平台。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空六自由度运动平台，包括运动台本体，所述运动台本体的上端固定连接有过渡转接板，所述过渡转接板的内部设有多个真空航插，所述过渡转接板的下端设有用于固定的法兰，所述运动台本体的内部于过渡转接板的下方设有X 轴平移台，所述X轴平移台的下方设有Y轴平移台，所述Y轴平移台的下方设有连接杆。

优选地，所述过渡转接板的上端于多个真空航插的内部均设有用于悬挂整个装置的挂环。

优选地，所述连接杆的前端设有Z轴升降台，所述Z轴升降台的下方设有Y 轴弧摆台，所述Y轴弧摆台的下方设有X轴弧摆台，所述X轴弧摆台的下方设有 Z轴旋转台，所述Z轴旋转台的下方设有摆心。

优选地，所述运动台本体的适用环境为10^-3帕斯卡真空环境，所述运动台本体通过多个挂环倒挂于靶室顶部，所述运动台本体的承重为500克，所述运动台本体的内部设有航插、盲板、电机线及六个设置于运动轴前端的电机，六个所述电机的型号均为进口真空电机。

优选地，在所述运动台本体做直线运动的过程中，当作前后运动时，所述X 轴平移台的行程误差在50mm以内，所述电机的马达步进精度在1.5μm以内，所述X轴平移台的复位精度在5μm以内；当作左右运动时，所述Y轴平移台的行程误差在50mm以内，所述电机的马达步进精度在1.5μm以内，所述Y轴平移台的复位精度在5μm以内；当作上下运动时，所述Z轴升降台的行程误差在60mm 以内，所述电机的马达步进精度在1.5μm以内，所述Z轴升降台的复位精度在5 μm以内。

优选地，在所述运动台本体做角度运动的过程中，当做前后俯仰运动时，所述Y轴弧摆台的调节范围在10°以内，电机的马达步进精度在30秒以内，所述 Y轴弧摆台的复位精度在1分以内；当做左右偏摆运动时，所述X轴弧摆台的调节范围在10°以内，电机的马达步进精度在30秒以内，所述X轴弧摆台的复位精度在1分以内；当做水平转动运动时，所述Z轴旋转台的调节范围为360°，电机的马达步进精度在30秒以内，所述Z轴旋转台的复位精度在1分以内。

本实用新型的有益效果：

1、通过设置多组平移台与弧摆台，可以减少运动平台在工作时存在的误差，提高其精度；

2、通过设置多个挂环，可以将运动台本体倒挂于靶室顶部，避免器出现固定不牢的情况，进而避免影响运动平台的正常工作。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空六自由度运动平台的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空六自由度运动平台的侧视图；

图3为本实用新型提出的一种真空六自由度运动平台的立体结构示意图。