[实用新型]一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置有效
申请号: | 202020734084.2 | 申请日: | 2020-05-07 |
公开(公告)号: | CN212233721U | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 甘泽光;田明雨 | 申请(专利权)人: | 深圳融科半导体装备有限公司 |
主分类号: | A47B81/00 | 分类号: | A47B81/00;A47B96/06;A47B97/00;F17C13/08 |
代理公司: | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人: | 沈锋 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 电子厂 特殊 液体 存储 供应 移动 装置 | ||
1.一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,其特征在于,包括储存柜体(2)、控制柜体(1)和换气系统,所述控制柜体(1)固定设置在储存柜体(2)的顶部,换气系统设置在储存柜体(2)的内部,所述储存柜体(2)的底部设置有可固定脚轮(9);
所述储存柜体(2)分为上下两层柜体,设置上支撑平台(5)和下支撑平台(6),并有开设有上柜门(201)和下柜门(202),所述储存柜体(2)的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨(3)和下移动滑轨(4);所述上支撑平台(5)与上移动滑轨(3)滑动安装,下支撑平台(6)与下移动滑轨(4)滑动安装;所述上支撑平台(5)上还设置有上固定夹(7),下支撑平台(6)上还设置有下固定夹(8);
所述储存柜体(2)的内部空间顶部还设置有负压传感器(13),所述负压传感器(13)与控制柜体(1)上的负压表(101)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,其特征在于,所述换气系统包括开设在下柜门(202)上的进风孔(11)和开设在储存柜体(2)内部空间顶部的风阀(12);所述风阀(12)连通储存柜体(2)内部空间与外部废气处理装置。
3.根据权利要求2所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,其特征在于,所述进风孔(11)内设有滤尘网。
4.根据权利要求1所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,其特征在于,所述上柜门(201)上开设有观察窗(203)。
5.根据权利要求1所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,其特征在于,所述控制柜体(1)上还设置有蜂鸣器(102),所述蜂鸣器(102)与负压表(101)连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,其特征在于,所述上支撑平台(5)和下支撑平台(6)均设有拉手(10)。
7.根据权利要求1所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,其特征在于,所述可固定脚轮(9)包括旋钮固定座(92)和万向脚轮(91)。
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