[实用新型]一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置有效

专利信息
申请号: 202020734084.2 申请日: 2020-05-07
公开(公告)号: CN212233721U 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 甘泽光;田明雨 申请(专利权)人: 深圳融科半导体装备有限公司
主分类号: A47B81/00 分类号: A47B81/00;A47B96/06;A47B97/00;F17C13/08
代理公司: 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 代理人: 沈锋
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 电子厂 特殊 液体 存储 供应 移动 装置
【说明书】:

实用新型供气原液储存设备领域,尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,包括:包括储存柜体、控制柜体和换气系统,所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部,换气系统设置在储存柜体的内部,所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮;所述储存柜体的内部空间顶部还设置有负压传感器,所述负压传感器与控制柜体上的负压表连接;采用本实用新型,一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,固定式脚轮保证了移动性与便携性,适应厂区环境,换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性;双开门双层放置空间,配合移动滑轨,也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。

技术领域

本实用新型供气原液储存设备领域,尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置。

背景技术

在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气系统。在供气系统中原液瓶的存放是一个比较关键的问题,特别是液体供应,原液瓶的位置不能距离控制系统太远,并且还要考虑占地空间的问题。

且原液瓶也在工作过程中,万一发生故障,已发生泄露,一般也需要单独放置,或加装置换气系统,但一般价格昂贵,不便于移动。

实用新型内容

本实用新型目的是在于提供一种可存储原液瓶,并便于移动,内部气压可测,以及可通风换气特殊液体存储装置。

一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,包括:包括储存柜体、控制柜体和换气系统,所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部,换气系统设置在储存柜体的内部,所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮;

所述储存柜体分为上下两层柜体,设置上支撑平台和下支撑平台,并有开设有上柜门和下柜门,所述储存柜体的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨和下移动滑轨;所述上支撑平台与上移动滑轨滑动安装,下支撑平台与下移动滑轨滑动安装;所述上支撑平台上还设置有上固定夹,下支撑平台上还设置有下固定夹;

所述储存柜体的内部空间顶部还设置有负压传感器,所述负压传感器与控制柜体上的负压表连接。

进一步的,所述进风孔内设有滤尘网

进一步的,所述上柜门上开设有观察窗。

进一步的,所述控制柜体上还设置有蜂鸣器,所述蜂鸣器与负压表连接。

进一步的,所述上支撑平台和下支撑平台均设有拉手。

进一步的,所述可固定脚轮包括旋钮固定座和万向脚轮。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型包括控制柜体、储存柜体和换气系统,控制柜体为一般常用的工控机,是成熟的现有技术,用于控制电子场前端设备对储存柜内储存原液瓶内调用,储存柜体开设上柜门和下柜门的双开式设计,并设置有双支撑平台,可以同时满足,不同规格原液瓶的放置需求,上支撑平台和下支撑平台配合上移动滑轨和下移动滑轨,使得支撑平台可以便捷拉出,便于检修更换原液瓶;设置在储存柜体内部的换气系统,也可以保证原液瓶在意外泄露后,保证危险或有害气体不会泄露出装置外部,设置储存柜体内部空间顶部的负压传感器接通设置在控制柜体上的负压表,可以第一时间反馈装置内部原液瓶泄露引起的负压失衡,保证了装置的安全性;设置在储存柜体底部的固定脚轮可以保证装置的便携性,保证整个装置在厂区内自由行动与固定;

采用本实用新型,一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置,固定式脚轮保证了移动性与便携性,适应厂区环境,换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性;双开门双层放置空间,配合移动滑轨,也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。

附图说明

图1是本实用新型的斜式结构示意图;

图2是本实用新型的侧视内部结构的示意图;

图3是本实用新型的正视示意图;

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