[实用新型]一种真空等离子清洗腔有效
申请号: | 202020738061.9 | 申请日: | 2020-05-08 |
公开(公告)号: | CN212062379U | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 张永雷 | 申请(专利权)人: | 昆山国华电子科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;B08B7/00 |
代理公司: | 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 32354 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 等离子 清洗 | ||
1.一种真空等离子清洗腔,包括腔体和所述腔体侧边的门体,所述腔体顶部设有固定板,所述固定板下部竖直排列设置有若干电极,其特征在于,所述电极上部设有进气板,所述进气板上设有进气接头,所述进气接头处连接有出气硬管,所述出气硬管伸于所述电极之间,所述出气硬管内设有匀气机构。
2.根据权利要求1所述的真空等离子清洗腔,其特征在于,所述进气板通过螺钉固定于所述固定板的端部。
3.根据权利要求1所述的真空等离子清洗腔,其特征在于,所述匀气机构包括固定于所述出气硬管内的挡板,所述挡板将所述出气硬管分隔为上下设置的进气腔和出气腔,所述出气腔下部设有水平排列设置的出气孔;所述挡板中心设有进气口。
4.根据权利要求1所述的真空等离子清洗腔,其特征在于,所述门体内侧设有进气总管,所述进气总管与所述进气接头连接。
5.根据权利要求3所述的真空等离子清洗腔,其特征在于,所述出气硬管侧壁设有卡槽,所述挡板卡于所述卡槽内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国华电子科技有限公司,未经昆山国华电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020738061.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。