[实用新型]一种真空等离子清洗腔

说明书

本实用新型提出了一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设有匀气机构，本等离子清洗腔在腔门口设置了进气板，通过进气板上设置的进气管深入至电极板之间，从电极板上部分别进气，能够保证气体在电极板之间分部均匀，并且设置了匀气机构，保证每根出气硬管出气均匀，提高清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗设备领域，尤其涉及真空等离子清洗腔。

背景技术

针对电路板加工完成后，需要进入等离子清洗机内进行清洗，等离子清洗机的原理是：在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的，所以在清洗过程中是需要不断通入气体，被电离成等离子体后进行清洗，现有技术中，如专利公告号为：CN207624654U的实用新型公开了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，其公开的竖直设置的电极板的等离子清洗腔，现有的通气方式都从腔体的侧壁进气，但由于竖直设置的电极板，气体只能从侧边直至电极板下部或者上部慢慢渗透，所以在实际工作时，气体的分部极为不均匀，导致清洗效果较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设有匀气机构。

优选的，所述进气板通过螺钉固定于所述固定板的端部。

优选的，所述匀气机构包括固定于所述出气硬管内的挡板，所述挡板将所述出气硬管分隔为上下设置的进气腔和出气腔，所述出气腔下部设有水平排列设置的出气孔；所述挡板中心设有进气口。

优选的，所述门体内侧设有进气总管，所述进气总管与所述进气接头连接。

优选的，所述出气硬管侧壁设有卡槽，所述挡板卡于所述卡槽内。

本实用新型提出的真空等离子清洗腔有以下有益效果：本等离子清洗腔在腔门口设置了进气板，通过进气板上设置的进气管深入至电极板之间，从电极板上部分别进气，能够保证气体在电极板之间分部均匀，并且设置了匀气机构，保证每根出气硬管出气均匀，提高清洗效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为A-A剖视图；

图3为本实用新型的进气硬管的示意图；

其中，1、腔体；2、门体；3、固定板；4、电极；5、进气板；6、进气接头；7、出气硬管；8、挡板；9、密封条；10、进气腔；11、出气腔；12、进气口；13、出气孔；14、卡槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。