[实用新型]一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头

权利要求书

1.一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头，其特征在于，包括同轴设置的靶管(1)、靶筒压盖(2)、芯轴(9)、轴套(4)和连接件(10)；

靶管(1)内部、靶筒压盖(2)内侧和芯轴(9)外周形成冷却仓(11)；靶管(1)的端部与靶筒压盖(2)密封连接设置；靶筒压盖(2)中部设置安装孔，连接件(10)配合插入该安装孔内；轴套(4)配合插入连接件(10)的中心孔内部，轴套(4)套设在芯轴(9)的外周；

靶管(1)上设置多个第一排气通道(8)；靶筒压盖(2)上设置有多个第二排气通道(3)；轴套(4)上设置多个第三排气通道(5)；

第一排气通道(8)与第二排气通道(3)一一对应连通，第二排气通道(3)与第三排气通道(5)一一对应连通；

轴套(4)上设置回水通道(6)，回水通道(6)的进液端与冷却仓(11)连通，回水通道(6)的出液端位于靶筒压盖(2)外侧；其中，第三排气通道(5)的进料端在回水通道(6)的内周面形成进气端口；

芯轴(9)与轴套(4)键连接；芯轴(9)中心沿轴向设置进水通道(7)，芯轴(9)位于冷却仓内一端为进水通道(7)的出液端，芯轴(9)位于靶筒压盖(2)外侧的一端为进水通道(7)的进液端。

2.根据权利要求1所述的卷绕镀膜靶管内部空气排空端头，其特征在于，第一排气通道(8)、第二排气通道(3)以及第三排气通道(5)以中轴线为基准环形均布设置多个。

3.根据权利要求1所述的卷绕镀膜靶管内部空气排空端头，其特征在于，靶管(1)与靶筒压盖(2)之间设置橡胶密封圈。