[实用新型]一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头

说明书

一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头，包括同轴设置靶管、靶筒压盖、芯轴、轴套和连接件；靶管内部、靶筒压盖、内侧和芯轴外周形成冷却仓；靶管的端部与靶筒压盖密封连接设置；靶筒压盖中部设置安装孔，连接件配合插入该安装孔内；第一排气通道与第二排气通道一一对应连通，第二排气通道与第三排气通道一一对应连通；芯轴与轴套键连接；芯轴中心沿轴向设置进水通道，芯轴位于冷却仓内一端为进水通道的出液端，芯轴位于靶筒压盖外侧的一端为进水通道的进液端。本实用新型中能够将靶管内部空气完全排空，使得靶材能够均匀冷却，避免了因冷却不均匀造成的靶材烧损，排除安全隐患。

技术领域

本实用新型涉及卷绕镀膜领域，尤其涉及一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头。

背景技术

在卷绕镀膜领域，靶管水平放置，在溅射过程中，需要将靶管内部空气完全排空，保证靶材的良好充分冷却。但是，靶管水平放置，冷却水在靶管内流动的过程中，靶管上部空气不能完全排出，这部分空气一直被上浮在靶管上部，造成靶管上部不能被很好的冷却，极易造成靶材烧损，存在安全隐患，严重影响了企业的安全生产。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头，能够将靶管内部空气完全排空，使得靶材能够均匀冷却，避免了因冷却不均匀造成的靶材烧损，排除安全隐患。

(二)技术方案

本实用新型提出一种卷绕镀膜靶管内部空气排空端头，包括同轴设置的靶管、靶筒压盖、芯轴、轴套和连接件；

靶管内部、靶筒压盖、内侧和芯轴外周形成冷却仓；靶管的端部与靶筒压盖密封连接设置；靶筒压盖中部设置安装孔，连接件配合插入该安装孔内；轴套配合插入连接件的中心孔内部，轴套套设在芯轴的外周；

靶管上设置多个第一排气通道；靶筒压盖上设置有多个第二排气通道；轴套上设置多个第三排气通道；

第一排气通道与第二排气通道一一对应连通，第二排气通道与第三排气通道一一对应连通；

轴套上设置回水通道，回水通道的进液端与冷却仓连通，回水通道的出液端位于靶筒压盖外侧；其中，第三排气通道的进料端在回水通道的内周形成进气端口；

芯轴与轴套键连接；芯轴内部设置进水通道，芯轴位于冷却仓内一端为进水通道的出液端，芯轴位于靶筒压盖外侧的一端为进水通道的进液端。

优选的，第一排气通道、第二排气通道以及第三排气通道以中轴线为基准环形均布设置多个。

优选的，靶管与靶筒压盖之间设置橡胶密封圈。

本实用新型中，冷水通过芯轴进入冷却仓内，靶管内部的气体气体依次由回水通道、第三排气通、第二排气通道以及第一排气通道排出靶管；能够将靶管内部空气完全排空，使得靶材能够均匀冷却，避免了因冷却不均匀造成的靶材烧损，排除安全隐患。

附图说明

图1为本实用新型提出的卷绕镀膜靶管内部空气排空端头的结构示意图。

附图标记：1、靶管；2、靶管压盖；3、第二排气通道；4、轴套；5、第三排气通道；6、回水通道；7、进水通道；8、第一排气通道；9、芯轴；10、连接件；11、冷却仓。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。