[实用新型]一种连续沉积金刚石薄膜设备

说明书

本实用新型涉及一种连续沉积金刚石薄膜设备。包括预沉积室、沉积室、制品待取室及将预沉积室的基片从所述预沉积室依次传输至沉积室、制品待取室的基片传输装置，其中，所述预沉积室、沉积室、制品待取室依次设置且依次连接，预沉积室内充入基片沉积时所需气氛气体，在所述沉积室内当前热丝结构的作用下，依次对进入所述沉积室的多批次基片进行金刚石薄膜沉积，实现了在不更换热丝结构的前提下，多次金刚石膜的沉积，避免了现有技术中由于热丝消耗和中间更换热丝所导致的成本非必要提高问题，有利于金刚石薄膜的推广。

技术领域

本实用新型涉及热丝化学沉积技术,具体涉及一种连续沉积金刚石薄膜设备。

背景技术

通常热丝CVD技术是通过加热金属丝，使其达到2000℃以上，在沉积环境下，氢气分解为原子态氢，碳氢原料气体也分解为活性碳氢基团，参与金刚石膜的沉积。由于加热用的高温难熔金属丝在反应中被碳化为硬脆的碳化物，通常只能一次性使用，无法继续第二次使用，故HFCVD方法通常是在完成一次沉积后重新装丝，然后再进行下一沉积,但其中更换新丝所需的时间相对较长，故所述热丝消耗及所述中间更换热丝的时间消耗导致了整个沉积工艺成本的提高，这不利于热丝化学沉积技术的发展，大面积金刚石薄膜的推广，该问题急需改进。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种连续沉积金刚石薄膜设备。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种连续沉积金刚石薄膜设备，包括预沉积室、沉积室、制品待取室及将预沉积室的基片从所述预沉积室依次传输至沉积室、制品待取室的基片传输装置，其中，所述预沉积室、沉积室、制品待取室依次设置且依次连接，预沉积室内充入基片沉积时所需气氛气体，预沉积室内的当前批次基片在所述基片传输装置传输下进入所述沉积室内，同时，所述沉积室内已完成金刚石薄膜沉积的基片经所述基片传输装置传输至所述制品待取室，在所述沉积室内当前热丝结构的作用下，依次对进入所述沉积室的多批次基片进行金刚石薄膜沉积。

实现在不更换热丝结构的前提下，多次金刚石膜的沉积，进而大大节省热丝消耗和中间更换热丝的时间损耗。

进一步的，所述预沉积室与所述沉积室连通时，所述预沉积室与所述沉积室内的气体气氛一致。

进一步的，所述热丝结构为热丝阵列结构。

进一步的，所述热丝结构设置在可上下移动的热丝丝架上。

进一步的，所述预沉积室与所述沉积室之间设置第一隔离门，通过所述第一隔离门的开启与关闭实现所述预沉积室与所述沉积室的连通与隔断；

所述沉积室与所述制品待取室之间设置第二隔离门，通过所述第二隔离门的开启与关闭实现所述沉积室与所述制品待取室的连通与隔断。

进一步的，所述基片传输装置包括沉积冷却台，所述沉积冷却台置于所述沉积室内，所述沉积冷却台分别连接冷却水进口、冷却水出口。

进一步的，所述预沉积室、沉积室、制品待取室均连接用于排除相应腔室体内空气的本底泵，其中，所述沉积室还连接沉积时通过抽取所述沉积室腔室内气体用于维持腔室内压力的工作泵。更具体的，所述预沉积室通过预沉积室抽气阀与本地泵连接，所述沉积室通过沉积室抽气阀与本地泵连接，制品待取室通过待取室抽气阀与本地泵连接，且在所述预沉积室与预沉积室抽气阀之间的管道、制品待取室与待取室抽气阀之间的管道上均设置充气阀，所述充气阀用于在打开腔室之前将腔室内充入空气或氮气等达到预定大气压(如一个大气压)。所述沉积室通过调节阀与所述工作泵连接，其中，所述沉积室与调节阀之间管道的前区段与所述沉积室与沉积室抽气阀之间管道的前区段共用。

进一步的，所述预沉积室、沉积室、制品待取室均通过相应的进气阀连接甲烷与氢气混合装置，所述甲烷与氢气混合装置分别通过流量计连接甲烷气体盛装装置、氢气气体盛装装置。