[实用新型]一种晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括清洗筒(1)，设置于清洗筒(1)内的升降式的筛网(2)，高于筛网(2)最低位置拆卸式的侧向插设于清洗筒(1)上的隔板(3)，设置于清洗筒(1)顶端与清洗筒(1)拆卸式连接的盖板(4)，设置于盖板(4)上与筛网(2)固定连接的升降机构，设置于盖板(4)内侧的喷洗机构，与喷洗机构拆卸式连接的喷液注水装置(5)，与隔板(3)位置以上的清洗筒(1)连通的废水回收装置(6)，以及与清洗筒(1)下部连通的充气装置(7)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述筛网(2)最低位置的下方的清洗筒(1)的侧壁上设置有进气口(8)，所述充气装置通过一止回进气管(9)与所述进气口(8)连通。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述喷洗机构包括贯穿盖板(4)设置的进水主管(10)，铺设于盖板(4)内侧与进水主管(10)连通的多根喷液支管(11)，以及设置于喷液支管(11)上的若干冲洗喷头(12)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述喷液注水装置(5)连接有一注水软管(13)，所述注水软管(13)的另一端与喷洗机构的进水主管(10)拆卸式连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述升降机构包括设置于盖板(4)顶端的升降气缸(14)，以及与升降气缸(14)相连并贯穿盖板(4)设置的活塞杆(15)；其中，所述活塞杆(15)的另一端与筛网(2)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗筒(1)的底部设置有排水阀(16)。

7.根据权利要求1或6任一项所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗筒(1)下端还设置有支架(17)，所述支架(17)下端设置有底座(18)。