[实用新型]一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置有效
| 申请号： | 202020741206.0 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN211670172U | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 阳熊 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司： | 成都慕川专利代理事务所(普通合伙) 51278 | 代理人： | 杨艳 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 散热 效果 离子束 刻蚀 承载 装置 | ||
1.一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，包括托盘(1)和运动小车(2)，其特征在于，还包括设置于运动小车(2)上的散热盘(3)；所述散热盘(3)包括与运动小车(2)固定连接的底板(4)，设置于底板(4)上的扰流带(5)，设置于扰流带(5)上的顶板(6)，设置于顶板(6)上并贯穿至扰流带(5)的导轨式散热片(7)；所述托盘(1)包括内部具有空腔的托盘本体(8)，设置于托盘本体(8)的空腔内并与托盘本体(8)的顶板内侧固定连接的水循环管路(9)，设置于托盘本体(8)侧壁与水循环管路(9)连通的冷却水进出接头，以及开设于托盘本体(8)的底板上的滑槽(10)与散热孔(11)；其中，所述滑槽(10)与导轨式散热片(7)适配。
2.根据权利要求1所述的一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，其特征在于，所述冷却水进出接头设置为相互匹配的公头(12)和母头(13)。
3.根据权利要求2所述的一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，其特征在于，所述扰流带(5)与底板(4)和顶板(6)通过钎焊的方式固定焊接。
4.根据权利要求3所述的一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，其特征在于，所述导轨式散热片(7)设置有三条，所述滑槽(10)对应设置有三条。
5.根据权利要求4所述的一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，其特征在于，所述托盘本体(8)的两侧壁上还设置有把手耳(14)。
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