[实用新型]一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置

说明书

本实用新型公开了一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，主要解决现有半导体离子束刻蚀中，产品片承载装置散热效果不好，导致离子束刻蚀次品率高的问题。该承载装置包括托盘和运动小车，还包括设置于运动小车上的散热盘；所述托盘包括内部具有空腔的托盘本体，设置于托盘本体的空腔内并与托盘本体的顶板内侧固定连接的水循环管路，设置于托盘本体侧壁与水循环管路连通的冷却水进出接头，以及开设于托盘本体的底板上的滑槽与散热孔。本实用新型通过在运动小车上增设散热盘，利用导轨式散热片将托盘本体内积聚的热量引导至散热盘散出，同时利用冷却水循环的方式带走托盘上的热量，实现多方式、多重散热，避免产品片刻蚀时损坏，提高产品片的成品率。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体地说，是涉及一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置。

背景技术

离子束刻蚀也称为离子铣，是指当定向高能离子向固体靶撞击时，能量从入射离子转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量时，固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。

在半导体加工制造过程中就需要对产品基片进行离子束刻蚀，现有工艺是将产品放入托盘上，然后托盘固定在小车上，然后通过小车来回移动，小车移动过程中，正上方的离子束对产品表面进行刻蚀。在产品的刻蚀过程中产品片会持续产生热量，导致产品刻蚀时间越长产品的温度越高，而某些产品上的金属镀层对温度敏感，温度过高会造成产品失效。但是现有刻蚀承载装置大多散热效果不好，导致产品片次品率高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，主要解决现有半导体离子束刻蚀中，产品片承载装置散热效果不好，导致离子束刻蚀次品率高的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种散热效果好的离子束刻蚀承载装置，包括托盘和运动小车，还包括设置于运动小车上的散热盘；所述散热盘包括与运动小车固定连接的底板，设置于底板上的扰流带，设置于扰流带上的顶板，设置于顶板上并贯穿至扰流带的导轨式散热片；所述托盘包括内部具有空腔的托盘本体，设置于托盘本体的空腔内并与托盘本体的顶板内侧固定连接的水循环管路，设置于托盘本体侧壁与水循环管路连通的冷却水进出接头，以及开设于托盘本体的底板上的滑槽与散热孔；其中，所述滑槽与导轨式散热片适配。

进一步地，所述冷却水进出接头设置为相互匹配的公头和母头。

进一步地，所述扰流带与底板和顶板通过钎焊的方式固定焊接。

进一步地，所述导轨式散热片设置有三条，所述滑槽对应设置有三条。

进一步地，所述托盘本体的两侧壁上还设置有把手耳。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

(1)本实用新型通过在运动小车上增设散热盘，散热盘的底板、扰流带、顶板相互连接从而在扰流带层形成散热通道，利用导轨式散热片将托盘本体内积聚的热量引导散出，同时利用冷却水循环的方式带走托盘上的热量，实现多方式、多重散热，大大增强刻蚀承载装置的散热效果，避免产品片刻蚀时损坏，提高成品率。

(2)本实用新型巧妙地将散热片设置成导轨形式，一方面便于托盘与运动小车的安装拆卸，另一方面又实现了托盘内部的散热，实用性强。

(3)本实用新型的冷却水进出接头设计为公头和母头，当需要取下托盘的时候，将托盘外另一端的冷却水进水和回水的公头、母头对接就可实现冷却水管路自身的水循环，防止机台冷却水报警。

附图说明

图1为本实用新型中运动小车与散热盘的结构示意图。

图2为本实用新型中托盘的俯视图。

图3为本实用新型中托盘的内部结构示意图。