[实用新型]一种生产半导体二极管用网板吸盘有效
| 申请号： | 202020750204.8 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN211605124U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 于林 | 申请（专利权）人： | 河南台冠电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/329 |
| 代理公司： | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人： | 郭尊言 |
| 地址： | 453000 河南省新乡市延津县*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生产 半导体 二极 管用 吸盘 | ||
1.一种生产半导体二极管用网板吸盘，包括吸盘主体(1)、软垫(2)、气管(3)和连接端(4)，其特征在于：所述吸盘主体(1)呈方形，所述吸盘主体(1)的内部开设有气路通道(5)，所述吸盘主体(1)的内侧开设有吸附孔(6)，所述吸附孔(6)的外侧开设有圆槽(7)，所述吸盘主体(1)的外侧固定连接有环形卡槽(101)，所述软垫(2)的外侧固定连接有环形卡扣(201)，所述软垫(2)的内侧开设有凹槽(8)，所述凹槽(8)的外圈固定连接有卡垫(9)，所述气管(3)的一端联通有分流管(301)，连接端(4)固定连接在吸盘主体(1)的上端。
2.根据权利要求1所述的一种生产半导体二极管用网板吸盘，其特征在于：所述气路通道(5)呈矩阵网格状排布在吸盘主体(1)的内部，所述气路通道(5)与三个分流管(301)相联通。
3.根据权利要求1所述的一种生产半导体二极管用网板吸盘，其特征在于：所述气管(3)设置在吸盘主体(1)的侧端，所述连接端(4)的上端设置有连接槽(401)。
4.根据权利要求1所述的一种生产半导体二极管用网板吸盘，其特征在于：所述软垫(2)通过环形卡扣(201)卡接在吸盘主体(1)外侧的环形卡槽(101)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种生产半导体二极管用网板吸盘，其特征在于：所述吸附孔(6)的数量为若干个，若干个所述吸附孔(6)分别位于每个矩阵网格的交汇点。
6.根据权利要求1所述的一种生产半导体二极管用网板吸盘，其特征在于：所述凹槽(8)的内部设置有过滤网(801)，所述卡垫(9)卡接在圆槽(7)的内部。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
