[实用新型]一种光阻去除机上防止隔绝门松脱结构有效

专利信息
申请号: 202020760919.1 申请日: 2020-05-11
公开(公告)号: CN212563899U 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 王浩明 申请(专利权)人: 苏州子山半导体科技有限公司
主分类号: F15B15/14 分类号: F15B15/14;F15B15/20
代理公司: 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 代理人: 薛芳芳
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 去除 防止 隔绝 门松脱 结构
【权利要求书】:

1.一种光阻去除机上防止隔绝门松脱结构,包含气缸和螺栓;其特征在于:还包括固定套和螺钉;

所述气缸驱动端的端面设置有第一螺纹孔;所述气缸驱动端的表面靠近端面处至少设置有一处第一平面;

所述螺栓的螺身与第一螺纹孔螺纹连接,螺帽表面至少设置有一处第二平面;

所述固定套的两端分别套设在气缸驱动端和螺帽上;所述固定套的表面分别设置有与第一平面和第二平面对应的第二螺纹孔;

所述螺钉至少设置有两颗,其分别穿过第二螺纹孔抵在第一平面和第二平面上。

2.根据权利要求1所述的光阻去除机上防止隔绝门松脱结构,其特征在于:所述固定套的内部为阶梯孔,其中大端套设在气缸驱动端上,小端套设在螺帽上。

3.根据权利要求2所述的光阻去除机上防止隔绝门松脱结构,其特征在于:所述阶梯孔大端的直径略大于气缸驱动端的直径;所述阶梯孔小端的直径略大于螺帽的直径。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的光阻去除机上防止隔绝门松脱结构,其特征在于:所述第一平面和第二平面均设置有两面,且对称放置。

5.根据权利要求4所述的光阻去除机上防止隔绝门松脱结构,其特征在于:所述螺钉为无头螺钉,位于第二螺纹孔内。

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