[实用新型]一种光阻去除机上防止隔绝门松脱结构

说明书

本实用新型涉及一种光阻去除机上防止隔绝门松脱结构，包含气缸、螺栓、固定套、螺钉；所述气缸驱动端的端面设置有第一螺纹孔；所述气缸驱动端的表面靠近端面处至少设置有一处第一平面；所述螺栓的螺身与第一螺纹孔螺纹连接，螺帽表面至少设置有一处第二平面；所述固定套的两端分别套设在气缸驱动端和螺帽上；所述固定套的表面分别设置有与第一平面和第二平面对应的第二螺纹孔；所述螺钉至少设置有两颗，其分别穿过第二螺纹孔抵在第一平面和第二平面上；本实用新型通过固定套上的螺钉分别抵在第一平面和第二平面上，能将气缸驱动端与螺栓牢牢固定，防止发生松动，保证隔绝门正常打开。

技术领域

本实用新型涉及半导体机械领域，特指一种光阻去除机上防止隔绝门松脱结构。

背景技术

目前光阻去除机上的隔绝门采用气缸驱动，如图1所述，气缸的驱动端通过螺栓与隔绝门部件螺纹连接；由于隔绝门长期运动，容易使螺栓与气缸驱动端发生松动，导致隔绝门无法完全打开。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种光阻去除机上防止隔绝门松脱结构。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种光阻去除机上防止隔绝门松脱结构，包含气缸、螺栓、固定套、螺钉；所述气缸驱动端的端面设置有第一螺纹孔；所述气缸驱动端的表面靠近端面处至少设置有一处第一平面；所述螺栓的螺身与第一螺纹孔螺纹连接，螺帽表面至少设置有一处第二平面；所述固定套的两端分别套设在气缸驱动端和螺帽上；所述固定套的表面分别设置有与第一平面和第二平面对应的第二螺纹孔；所述螺钉至少设置有两颗，其分别穿过第二螺纹孔抵在第一平面和第二平面上。

优选的，所述固定套的内部为阶梯孔，其中大端套设在气缸驱动端上，小端套设在螺帽上。

优选的，所述阶梯孔大端的直径略大于气缸驱动端的直径；所述阶梯孔小端的直径略大于螺帽的直径。

优选的，所述第一平面和第二平面均设置有两面，且对称放置。

优选的，所述螺钉为无头螺钉，位于第二螺纹孔内。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型通过固定套上的螺钉分别抵在第一平面和第二平面上，能将气缸驱动端与螺栓牢牢固定，防止发生松动，保证隔绝门正常打开，且配件简便，易安装、拆卸。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为现有结构示意图；

附图2为本实用新型所述的光阻去除机上防止隔绝门松脱结构的结构示意图；

附图3为本实用新型中气缸的结构示意图；

附图4为本实用新型中螺栓的结构示意图；

附图5为本实用新型中固定套的结构示意图；

附图6为本实用新型所述的光阻去除机上防止隔绝门松脱结构的剖视图。

其中：1、气缸；11、驱动端；12、第一螺纹孔；13、第一平面；2、固定套；21、第二螺纹孔；22、小端；23、大端；3、螺栓；31、螺身；32、螺帽；33、第二平面；4、螺钉。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。