[实用新型]一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构

权利要求书

1.一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于，包括：放置板（1）、放置壳（2）、支撑腿（3）、底座（4）、防尘调节机构以及固定机构；其中所述放置板（1）底侧固定连接有支撑腿（3），且支撑腿（3）底端固定连接有底座（4）；所述放置板（1）顶侧固定连接支撑柱（6），且支撑柱（6）外侧设有固定连接在放置板（1）表面的放置壳（2）；

所述防尘调节机构包括：连接柱（7）、防尘壳（10）、磁铁板（9）、第一铁板（5）以及第二铁板（8），所述连接柱（7）滑动连接在放置板（1）上；所述连接柱（7）顶端固定连接有防尘壳（10），该防尘壳（10）滑动连接在支撑柱（6）表面，且防尘壳（10）顶侧卡合连接有顶盖（14）；所述连接柱（7）底端固定连接有磁铁板（9）；所述底座（4）顶侧固定连接有第一铁板（5）；所述放置板（1）底侧固定连接有第二铁板（8）；

所述固定机构包括：方针架（11）、调节螺栓（12）、探针套（16）、树脂薄膜贴（15）以及探针（13），所述方针架（11）固定连接在支撑柱（6）顶端；所述方针架（11）内侧壁粘接有树脂薄膜贴（15），且树脂薄膜贴（15）顶侧设有探针（13）；所述探针（13）末端套接有探针套（16）；所述方针架（11）侧表面螺纹连接有调节螺栓（12），且调节螺栓（12）末端与探针套（16）表面紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于：所述支撑腿（3）数目为四个，四个所述支撑腿（3）位于放置板（1）底侧四个拐角位置处。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于：所述放置壳（2）数目为两个，且两个放置壳（2）位于放置板（1）顶部相对侧位置处。

4.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于：所述连接柱（7）的长度大于放置板（1）距离底座（4）的长度，且连接柱（7）数目为两个。

5.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于：所述磁铁板（9）正上方设有第二铁板（8），所述磁铁板（9）正下方设有第一铁板（5），且第一铁板（5）、磁铁板（9）以及第二铁板（8）三者之间平行放置。

6.一种悬臂式探针卡固化装置用防尘调节机构，其特征在于，包括：放置板（1）、支撑腿（3）、底座（4）、支撑柱（6）、连接柱（7）、防尘壳（10）、磁铁板（9）、第一铁板（5）以及第二铁板（8），所述放置板（1）底侧固定连接有支撑腿（3），且支撑腿（3）底端固定连接有底座（4）；所述放置板（1）顶侧固定连接支撑柱（6），所述连接柱（7）滑动连接在放置板（1）上；所述连接柱（7）顶端固定连接有防尘壳（10），该防尘壳（10）滑动连接在支撑柱（6）表面，且防尘壳（10）顶侧卡合连接有顶盖（14）；所述连接柱（7）底端固定连接有磁铁板（9）；所述底座（4）顶侧固定连接有第一铁板（5）；所述放置板（1）底侧固定连接有第二铁板（8）。

7.一种悬臂式探针卡固化装置用固定机构，其特征在于：包括方针架（11）、调节螺栓（12）、探针套（16）、树脂薄膜贴（15）以及探针（13），所述方针架（11）固定连接在支撑柱（6）顶端；所述方针架（11）内侧壁粘接有树脂薄膜贴（15），且树脂薄膜贴（15）顶侧设有探针（13）；所述探针（13）末端套接有探针套（16）；所述方针架（11）侧表面螺纹连接有调节螺栓（12），且调节螺栓（12）末端与探针套（16）表面紧密贴合。