[实用新型]一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构有效

专利信息
申请号: 202020769478.1 申请日: 2020-05-12
公开(公告)号: CN212020564U 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 于海超;赵梁玉;王艾琳;周明 申请(专利权)人: 强一半导体(苏州)有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 悬臂 探针 固化 装置 防尘 调节 机构 固定
【说明书】:

实用新型公开了一种悬臂式探针卡固化装置,包括放置板、放置壳、支撑腿、底座、支撑柱、顶盖、探针套;防尘调节机构和固定机构;防尘调节机构包括连接柱、防尘壳、磁铁板、第一铁板以及第二铁板;固定机构包括方针架、调节螺栓、探针套、树脂薄膜贴以及探针。该种悬臂式探针卡固化装置结构简单、设计新颖,便于对放针架进行防尘放置,降低放针架受到的灰尘影响,同时方便工作者进行操作使用方针架,不受防尘调节机构影响,满足使用者需求,在使用时,通过设置的固定机构的作用下,便于工作者将探针一端进行固定,便于探针表面环氧树脂的涂抹,提高涂抹的方便性,具有良好的市场价值,适合推广使用。

技术领域

本实用新型一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构属于探针卡固化应用技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号对芯片参数进行测试;2019年曝光的WiFi探针技术,甚至无需用户主动连接WiFi即可捕获个人信息;近年来半导体制程技术突飞猛进,超前摩尔定律预估法则好几年,现阶段已向7奈米以下挺进。

经检索公开号CN201120131627.2公开的悬臂式探针卡固化装置,其方案中存在一些技术缺陷:

第一、放针架不使用放置过程中容易造成灰尘积累,增加工作者的操作难度,同时一些放针架放置后不便于再次使用,降低效率。

第二、探针在表面涂上环氧树脂中,探针在固化过程中一端放置不稳,不便于涂抹环氧树脂,影响操作。

因此,针对上述问题提出一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种悬臂式探针卡固化装置,包括放置板、放置壳、支撑腿、底座、防尘调节机构以及固定机构;其中所述放置板底侧固定连接有支撑腿,且支撑腿底端固定连接有底座;所述放置板顶侧固定连接支撑柱,且支撑柱外侧设有固定连接在放置板表面的放置壳;

所述防尘调节机构包括连接柱、防尘壳、磁铁板、第一铁板以及第二铁板,所述连接柱滑动连接在放置板上;所述连接柱顶端固定连接有防尘壳,该防尘壳滑动连接在支撑柱表面,且防尘壳顶侧卡合连接有顶盖;所述连接柱底端固定连接有磁铁板;所述底座顶侧固定连接有第一铁板;所述放置板底侧固定连接有第二铁板;

所述固定机构包括方针架、调节螺栓、探针套、树脂薄膜贴以及探针,所述方针架固定连接在支撑柱顶端;所述方针架内侧壁粘接有树脂薄膜贴,且树脂薄膜贴顶侧设有探针;所述探针末端套接有探针套;所述方针架侧表面螺纹连接有调节螺栓,且调节螺栓末端与探针套表面紧密贴合。

优选的,所述支撑腿数目为四个,四个所述支撑腿位于放置板底侧四个拐角位置处。

优选的,所述放置壳数目为两个,且两个放置壳位于放置板顶部相对侧位置处。

优选的,所述连接柱的长度大于放置板距离底座的长度,且连接柱数目为两个。

优选的,所述磁铁板正上方设有第二铁板,所述磁铁板正下方设有第一铁板,且第一铁板、磁铁板以及第二铁板三者之间平行放置。

一种悬臂式探针卡固化装置用防尘调节机构,包括:放置板、支撑腿、底座、支撑柱、连接柱、防尘壳、磁铁板、第一铁板以及第二铁板,所述放置板底侧固定连接有支撑腿,且支撑腿底端固定连接有底座;所述放置板顶侧固定连接支撑柱,所述连接柱滑动连接在放置板上;所述连接柱顶端固定连接有防尘壳,该防尘壳滑动连接在支撑柱表面,且防尘壳顶侧卡合连接有顶盖;所述连接柱底端固定连接有磁铁板;所述底座顶侧固定连接有第一铁板;所述放置板底侧固定连接有第二铁板。

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